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Rivestimento a spruzzo-spin ad ultrasuoni (300-3000 giri/min, wafer massimo da 12")
Il rivestimento a spruzzo/spruzzatore di colla a ultrasuoni VTC-300USS può controllare con precisione il rapporto stechiometrico della soluzione, la velocità di spruzzatura delle particelle di nebbia, la dimensione delle particelle di nebbia e altri parametri. Il diametro dei substrati assorbibili (del dispositivo di rivestimento/spruzzatore di colla a rotazione ultrasonica VTC-300USS) può arrivare fino a 12" (300 mm).
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Rivestimento per pirolisi a spruzzo ad ultrasuoni
Il rivestimento per pirolisi/spruzzatore di colla a spruzzo a ultrasuoni MSK-USP-04C utilizza un motore passo-passo e un microprocessore per controllare la pompa volumetrica per garantire una trasmissione accurata delle soluzioni attraverso il set di infusione e la continuità del processo di spruzzatura a ultrasuoni. Un atomizzatore ad ultrasuoni viene utilizzato per preparare un sottile rivestimento micro-nano e un motore passo-passo viene utilizzato per controllare l'atomizzatore per muoversi nelle direzioni dell'asse X e dell'asse Y e la velocità di movimento può essere regolata entro un certo intervallo per garantire l'uniformità del rivestimento sulla superficie del substrato.
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