Macchina per sputtering al plasma a 3 bersagli

1. Potenza in ingresso del rivestimento al plasma a sputtering rotante a 3 bersagli: CA 220 V 50/60 Hz

2. Corrente di sputtering del rivestimento di sputtering al plasma a 3 bersagli rotanti: 0-40 mA, regolabile

3. Potenza: <1kW

4. Tensione di uscita: massimo 1680 V CC

1. Materiale: camera di quarzo

2. Dimensioni: OD 166 mm × ID 150 mm × 150 mm

3. Sigillatura: guarnizione O-ring

4. Un deflettore azionabile manualmente è installato sul coperchio della flangia per la pre-spruzzatura del target. Un raccordo a compressione φ 6,35 mm funge da porta di ingresso dell'aria per il collegamento al tubo di ingresso. Una valvola di sfiato manuale viene utilizzata per iniettare aria nella camera di quarzo.

5. Una copertura in rete di acciaio inossidabile ricopre l'intera camera di quarzo per proteggere il plasma.

6. La portata del gas di lavoro che entra nella camera di quarzo viene controllata regolando la valvola di controllo di micro-precisione sul lato destro dell'alloggiamento, regolando così il livello di vuoto all'interno della camera.

7. La corrente di sputtering viene controllata regolando il potenziometro sul lato destro dell'alloggiamento.

1. Sono previsti tre bersagli in rame standard.

2. Dimensioni del bersaglio: φ47 x (0,1-3) mm di spessore.

3. Altri bersagli metallici sono disponibili per l'acquisto presso la nostra azienda; per maggiori dettagli, contattare il nostro reparto vendite.

4. Per la pre-spruzzatura del bersaglio è installato un deflettore azionato manualmente.

1. Un tavolino portacampioni girevole da 50 mm con viti sulla colonna di supporto del tavolino portacampioni per regolare l'altezza del tavolino portacampioni.

2. Angolo di rotazione del palco del campione: 0/120/240 gradi.

3. La distanza tra il bersaglio e il piano del campione è regolabile da 20 a 70 mm.

4. La fase del campione può essere opzionalmente riscaldata, con una temperatura massima di 500°C.

Un pannello di controllo touchscreen integrato nel PLC da 1,4 " controlla il vuoto, la corrente e il tempo di sputtering del campione.

2. Una funzione di registrazione dei dati registra i parametri di processo quali vuoto, corrente e tempo di sputtering per ogni ciclo di sputtering, semplificando l'accesso ai dati da parte dei clienti.

1. Modello: VRD-8

2. Portata di pompaggio: 2,2 L/s

3. Potenza del motore: 370 W

4. Pressione massima: 5 × 10-1 Pa (senza carico).

5. Pressione effettiva: ≤ 5 Pa (20 minuti di pompaggio meccanico a freddo).

6. Se si desidera ottenere un grado di vuoto più elevato (10-5 toor o superiore), è possibile scegliere di acquistare unità per alto vuoto nazionali o importate.

Dimensioni: 460 mm × 400 mm × 500 mm (L × P × A)

Peso: circa 20 kg

1. Per ottenere lo spessore desiderato della pellicola sono necessari più cicli di sputtering.

2. Prima di procedere allo sputtering, assicurarsi che la testina di sputtering, il target, il campione e il piano portacampione siano puliti.

3. Per garantire una buona adesione tra la pellicola e il substrato, pulire la superficie del substrato prima di procedere allo sputtering. A questo scopo, è possibile utilizzare la nostra attrezzatura di pulizia.

4. Questa apparecchiatura può essere utilizzata per lo sputtering in una glove box (atmosfera di Ar o N2).

1. La pressione della camera non deve superare 0,02 MPa (pressione relativa).

2. A causa dell'elevata pressione all'interno della bombola del gas, è necessario installare una valvola di riduzione della pressione quando si introduce il gas nel tubo di quarzo. Per garantire la sicurezza, si consiglia di operare a una pressione inferiore a 0,02 MPa. Per una maggiore precisione e sicurezza, consigliamo di acquistare una valvola di riduzione della pressione dalla nostra azienda, con un intervallo di regolazione compreso tra 0,01 MPa e 0,1 MPa.

3. Sconsigliamo l'uso di gas infiammabili, esplosivi o tossici. Se il vostro processo richiede l'uso di gas infiammabili, esplosivi o tossici, vi preghiamo di adottare adeguate misure di protezione e antideflagranti. La nostra azienda non si assume alcuna responsabilità per eventuali problemi derivanti dall'uso di gas infiammabili, esplosivi o tossici.