Rivestimento a sputtering al plasma con 3 sorgenti di sputtering e glove box
Il sistema di preparazione di batterie a film sottile VGB-600-3HD può eseguire operazioni sperimentali in una glove box ed è utilizzato per preparare film ferroelettrici monostrato o multistrato, film conduttivi, film in lega, film semiconduttori, film ceramici, film dielettrici, film ottici, film di ossido, film rigidi, film in PTFE, ecc. Il sistema è dotato di tre pistole di puntamento e di un alimentatore RF per il rivestimento mediante sputtering di vari materiali di destinazione. L'alimentatore RF può essere collegato a qualsiasi testa di destinazione tramite un commutatore di trasferimento.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 44 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione al prodotto
ILSistema di deposizione di batterie a film sottile VGB-600-3HDè progettato per l'uso all'interno di una glove box, consentendo la preparazione di film sottili monostrato o multistrato come film ferroelettrici, film conduttivi, film in lega, film semiconduttori, film ceramici, film dielettrici, film ottici, film di ossido, rivestimenti duri e film in PTFE.
Questo sistema è dotato ditre pistole scoppiettanti, con unoAlimentatore RFche può essere commutato su uno qualsiasi dei tre target tramite un interruttore di trasferimento, consentendo la polverizzazione flessibile di diversi materiali target.
Rispetto ad apparecchiature simili, il VGB-600-3HD offremaggiore versatilità applicativa,struttura compatta, Efacile da usare, rendendolo unstrumento ideale per la preparazione di film sottili in laboratorioÈ particolarmente adatto perricerca su batterie a film sottile, elettroliti allo stato solido e materiali OLED.
A differenza dei sistemi convenzionali di sputtering magnetron, questo modello supporta lo sputtering utilizzandolitio e materiali bersaglio a base di litio, rendendolo una soluzione preferita peresperimenti di rivestimento a film sottile nei nuovi laboratori energetici.
Caratteristiche principali
1. Il sistema è dotato di tre pistole di puntamento e di un alimentatore RF per il rivestimento a spruzzo di vari materiali bersaglio. L'alimentatore RF può essere collegato a qualsiasi testa bersaglio tramite un commutatore di trasferimento. (La pistola di puntamento può essere sostituita in base alle esigenze del cliente).
2. È possibile preparare una varietà di film sottili con un'ampia gamma di applicazioni.
3. Dimensioni ridotte e facile da usare
4. Design modulare dell'intera macchina; design separato/diviso della camera del vuoto, del gruppo pompa del vuoto e dell'alimentatore di controllo, che può essere regolato in base alle effettive esigenze degli utenti. (opzionale)
5. L'alimentatore può essere selezionato in base alle effettive esigenze dell'utente. Un alimentatore può controllare più mitragliatrici, oppure più fonti di alimentazione possono controllare una singola mitragliatrice.
6. L'operazione sperimentale può essere eseguita nella glove box e vari tipi di bersagli facilmente ossidabili possono essere sostituiti per gli esperimenti di rivestimento.
TParametri tecnici
Nome del prodotto | Sistema di preparazione delle batterie a film sottile VGB-600-3HD |
Modello del prodotto | VGB-600-3HD |
Parametri principali (Specifiche) | Parte di sputtering magnetron a tre teste: 1. Tensione di alimentazione: 220V 50Hz 2. Potenza totale: 2,5 kW 3. Limite del grado di vuoto: E-6 mbar (E-3 mbar può essere raggiunto se utilizzato con le apparecchiature di pompaggio meccanico della nostra azienda) 4. Temperatura di riscaldamento: RT-500℃, precisione ±1℃ (la temperatura può essere aumentata in base alle effettive esigenze). 5. Numero di pistole bersaglio: 3 pezzi 6. Metodo di raffreddamento della pistola bersaglio: raffreddamento ad acqua 7. Dimensioni del materiale bersaglio: Ø2″, spessore 0,1-5 mm (spessori diversi dovuti ai diversi materiali bersaglio) 8. Alimentazione per sputtering: 300W (RF)/500W (DC) 9. Stadio campione: Ø140mm 10. Velocità della fase di campionamento: regolabile da 1 a 20 giri/min 11. Gas di lavoro: Ar, N2e altri gas inerti 12. Percorso dell'aria di aspirazione: il misuratore di portata di massa controlla 2 percorsi di aspirazione dell'aria, uno da 100 SCCM e l'altro da 200 SCCM. Parte del vano portaoggetti: 1. Alimentazione: monofase AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. Materiale della calotta: acciaio inossidabile 304 3. Camera del vano portaoggetti: 1220 mm × 760 mm × 900 mm 4. Camera anteriore: ci sono 2 camere anteriori, la camera anteriore grande è Ø360mm×600mm e la camera anteriore piccola è Ø150mm×300mm. 5. Ambiente della camera: contenuto d'acqua <1 ppm (20℃, 1 atm), contenuto di ossigeno <1 ppm (20℃, 1 atm) 6. Gas di lavoro: N2, Ar, He e altri gas inerti 7. Gas di controllo: aria compressa o gas inerte 8. Gas riducente: una miscela di gas di lavoro e H2 (se il sistema di purificazione ha solo la funzione di rimuovere l'acqua, il gas riducente è lo stesso del gas di lavoro.) 9. Sistema di purificazione del gas: Materiale deossidante BASF tedesco, materiale assorbente d'acqua ad alta efficienza UOP americano, controllo automatico del processo di rigenerazione del sistema di purificazione, funzioni automatiche di rimozione di acqua e ossigeno, in grado di mantenere costantemente la purezza del gas (a livello di acqua <1 ppm e ossigeno <1 ppm) a lungo termine 10. Sistema di controllo della pressione: la pressione dell'aria della camera può essere controllata automaticamente tramite touch screen PLC, la precisione del controllo è ±1 Pa e può anche essere controllata manualmente tramite un interruttore a pedale. 11. Sistema di filtrazione: i filtri sono installati alle estremità di ingresso e di uscita e la precisione di filtrazione è di 0,3 μm. 12. Sistema di controllo: touch screen a colori SIEMENS (6 pollici), sistema di controllo PLC, commutatore bilingue cinese e inglese * La sonda per l'acqua adotta il marchio americano GE, con display touch screen da 0-1000 ppm e precisione di 0,1 ppm. * Il trasmettitore di ossigeno adotta il marchio americano AII, con display touch screen da 0-1000 ppm e precisione di 0,1 ppm. * Il sensore di pressione adotta il marchio americano Setra, con display touch screen da -2500-2500Pa e precisione di ±1Pa. 13. Pompa per vuoto: marca britannica EDWARDS con velocità di pompaggio 8,4 m3/h-12 m3/H 14. Guanti: marca American NORTH (gomma sintetica butilica) 15. Sistema di illuminazione: marca Philips (tubo fluorescente) |
Dimensione del prodotto | Parte di sputtering magnetron a tre teste: 950 mm × 460 mm × 810 mm Parte del vano portaoggetti: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm |
Garanzia
Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)
Logistica
