Sistema di rivestimento continuo a sputtering magnetron multicamera
1. Il nostro sistema di rivestimento mediante sputtering magnetron VTC-600GC-AM, appena lanciato, è azionato da un motore a frequenza modulata, che offre un elevato grado di automazione.
2. Il sistema di rivestimento mediante sputtering magnetron, meticolosamente progettato e controllato dal nostro reparto tecnico, migliora notevolmente la stabilità del funzionamento dell'apparecchiatura e migliora significativamente l'esperienza dell'utente.
3. Il sistema di rivestimento mediante sputtering magnetron vanta una gamma di applicazioni più ampia rispetto a prodotti simili e le sue dimensioni compatte ne facilitano lo stoccaggio.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione del sistema di rivestimento mediante sputtering magnetron:
La macchina per rivestimento a sputtering VTC-600GC-AM è un'apparecchiatura di preparazione di film sottili ad alte prestazioni di nuova concezione, composta da una camera di trasferimento e una camera di rivestimento a sputtering. Il supporto del substrato si muove alternativamente tra le due camere, azionato da un motore a modulazione di frequenza, ottenendo un funzionamento sincrono automatico; la posizione della corsa di alternanza e la velocità di funzionamento possono essere impostate con precisione. Entrambe le camere della macchina per rivestimento a sputtering sono dotate di funzioni di calibrazione del posizionamento, che supportano il rapido ripristino dell'origine per garantire la stabilità e la ripetibilità del processo.
La macchina per rivestimento mediante sputtering è adatta alla preparazione di vari tipi di film sottili, tra cui: film sottili ferroelettrici, film sottili conduttivi, film sottili in lega, film sottili semiconduttori, film sottili ceramici, film sottili dielettrici, film sottili ottici, film sottili in ossido, film sottili duri, film sottili in PTFE, ecc. La macchina per rivestimento mediante sputtering può essere dotata di una struttura multi-target e può essere abbinata a un alimentatore RF (per target non conduttivi) e a un alimentatore CC (per target conduttivi) per soddisfare le esigenze di rivestimento mediante sputtering di diversi sistemi di materiali, rendendola ampiamente applicabile.
Rispetto alle apparecchiature tradizionali, la macchina per rivestimento mediante sputtering VTC-600GC-AM non solo vanta un'ampia gamma di applicazioni e una forte espandibilità funzionale, ma presenta anche una struttura compatta, un funzionamento pratico e un ingombro ridotto. È un sistema ideale per la preparazione in laboratorio di materiali a film sottile di alta qualità, particolarmente adatto a campi di ricerca all'avanguardia come elettroliti allo stato solido, OLED e materiali optoelettronici organici/inorganici.
Il VTC-600GC-AM offre ai ricercatori una soluzione professionale ed efficiente per la preparazione di film sottili grazie alle sue prestazioni stabili e affidabili, all'effetto di sputtering altamente uniforme e alle capacità di espansione flessibili.
Caratteristiche principali della macchina per rivestimento mediante sputtering magnetron:
• Struttura a doppia camera: la macchina per rivestimento mediante sputtering magnetron è composta da una camera di trasferimento e da una camera di sputtering, consentendo un rapido trasferimento del campione e un rivestimento continuo, migliorando significativamente l'efficienza della preparazione della pellicola.
• Configurazione multi-target flessibile: la macchina per rivestimento mediante sputtering magnetron può essere dotata di più pistole di puntamento, supporta sia alimentatori RF che DC ed è adatta per bersagli conduttivi e non conduttivi. Le pistole di puntamento possono essere liberamente intercambiate in base alle esigenze del processo.
• Ampia gamma di applicazioni: la macchina per rivestimento mediante sputtering magnetron può preparare vari tipi di film sottili, tra cui metalli, ossidi, ceramiche, dielettrici e film ottici, soddisfacendo le esigenze di ricerca di molteplici campi.
• Dimensioni compatte e funzionamento semplice: la macchina per rivestimento mediante sputtering magnetron ha un ingombro ridotto e una disposizione ragionevole, il che la rende comoda per l'uso in laboratorio.
• Design modulare: la camera di trasferimento, la camera a vuoto, il set pompa e l'alimentatore possono essere configurati in modo indipendente, facilitando l'espansione e la manutenzione.
• Configurazione di alimentazione opzionale: la macchina per rivestimento a sputtering magnetron supporta il controllo di un singolo alimentatore per più pistole bersaglio o il controllo indipendente di più alimentatori, soddisfacendo i requisiti di diversi processi di preparazione della pellicola.
Parametri tecnici della macchina per rivestimento mediante sputtering magnetron:
| Nome del prodotto | Sistema di rivestimento a sputtering magnetron multicamera continuo VTC-600GC-AM |
| Modello del prodotto | VTC-600GC-AM |
| Parametri principali | 1. Struttura dell'apparecchiatura: design con apertura frontale del tavolo, disposizione del sistema di aspirazione montato posteriormente. 2. Vuoto finale: 6,0 × 10⁻⁵ Pa. 3. Tasso di perdita: ≤ 0,5 Pa / 1 h. 4. Efficienza di pompaggio: circa 5 minuti per pompare dalla pressione atmosferica a 5,0 × 10⁻³ Pa. 5. Gruppo pompa a vuoto: combinazione pompa meccanica + pompa molecolare. 6. Parametri della fase campione: · Dimensioni: φ140 mm; · Intervallo di temperatura: temperatura ambiente ~ 500 ℃ (può essere aumentata su richiesta); · Precisione del controllo della temperatura: ±1 ℃; · Velocità di rotazione: regolabile 5–20 giri/min; · Modulo di polarizzazione opzionale per migliorare la qualità della pellicola. 7. Sistema di ingresso: Misuratore di portata massica a doppio canale (Ar/N₂). 8. Angolo di installazione del bersaglio: angolo di 34° tra il bersaglio e l'asse centrale del piano del campione. 9. Numero di bersagli: Configurazione standard: 3 bersagli, distanti 120° (è possibile personalizzare altri bersagli). 10. Metodo di raffreddamento target: raffreddamento ad acqua. 11. Dimensioni del materiale bersaglio: φ2″, spessore 0,1–5 mm (lo spessore varia a seconda del tipo di materiale bersaglio). |
| Conformità | La certificazione CE, UL o CSA è disponibile a un costo aggiuntivo. |
Punti operativi chiave del sistema di rivestimento mediante sputtering magnetron:
1. Trattamento superficiale del substrato: prima del rivestimento, il substrato necessita di un trattamento superficiale adeguato per garantire un'adesione uniforme e una buona durata. I metodi di trattamento superficiale possono includere pulizia, decontaminazione, lucidatura e incisione.
2. Scelta del rivestimento: quando si sceglie un rivestimento, è necessario considerare le sue proprietà fisico-chimiche, la solubilità, la viscosità e il contenuto di solidi, e si deve scegliere un rivestimento adatto in base ai requisiti del materiale.
3. Controllo dello spessore del rivestimento: lo spessore del rivestimento è uno dei fattori più importanti che influenzano le prestazioni del rivestimento. Lo spessore del rivestimento deve essere controllato durante il processo di rivestimento, in genere controllando la velocità di raschiatura della vergella o della racla, lo spessore del film della macchina di rivestimento e la viscosità del rivestimento.
4. Controllo dell'uniformità del rivestimento: anche l'uniformità del rivestimento ha un impatto significativo sulle prestazioni del rivestimento. Durante il processo di rivestimento, è necessario mantenere una distribuzione uniforme del rivestimento e assicurarsi che la superficie del rivestimento sia priva di difetti evidenti e bolle.
5. Impostazioni dei parametri della macchina di rivestimento: Anche le impostazioni dei parametri della macchina di rivestimento sono cruciali. Temperatura, velocità, livello di vuoto e altri parametri della macchina di rivestimento devono essere impostati in modo appropriato in base ai diversi rivestimenti e tipi di substrato per garantire la qualità e le prestazioni del rivestimento.
6. Funzionamento sicuro: è necessario adottare misure di sicurezza durante l'utilizzo della macchina di rivestimento, soprattutto perché alcuni materiali sono tossici. Si raccomanda di indossare occhiali protettivi, guanti e respiratori per evitare danni al personale e all'ambiente.
Informazioni sui nostri servizi:
Da molti anni ci dedichiamo alla ricerca e alla progettazione di apparecchiature da laboratorio, potendo contare su una tecnologia avanzata e una vasta esperienza. Per quanto riguarda le macchine per rivestimento piano, vantiamo anni di esperienza in ricerca e sviluppo e le nostre apparecchiature offrono vantaggi significativi in termini di precisione, stabilità ed efficienza.
