Rivestitore a sputtering magnetron a tre obiettivi per il rivestimento di substrati e wafer
1. Il sistema di preparazione della batteria a film sottile con glove box è dotato di tre pistole bersaglio e un alimentatore RF corrispondente può essere collegato a qualsiasi testa bersaglio tramite un interruttore di conversione, che viene utilizzato per il rivestimento a spruzzo di vari materiali bersaglio (la pistola bersaglio può essere sostituita in qualsiasi momento in base alle esigenze del cliente).
2. Il sistema di preparazione delle batterie a film sottile con glove box può preparare una varietà di film sottili ed è ampiamente utilizzato.
3. Il sistema di preparazione della batteria a film sottile con vano portaoggetti è di piccole dimensioni e molto facile da usare.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione del rivestimento compatto tramite sputtering al plasma:
Il sistema di preparazione per batterie a film sottile VGB-600-3HD con glove box può essere utilizzato per operazioni sperimentali nella glove box e viene utilizzato per preparare film sottili ferroelettrici monostrato o multistrato, film sottili conduttivi, film sottili in lega, film sottili semiconduttori, film sottili ceramici, film sottili dielettrici, film sottili ottici, film sottili di ossido, film sottili duri, film sottili in politetrafluoroetilene, ecc. Il dispositivo compatto di rivestimento a sputtering al plasma è dotato di tre pistole bersaglio e un alimentatore RF corrispondente può essere collegato a qualsiasi testa bersaglio tramite un interruttore di conversione, che viene utilizzato per il rivestimento a sputtering di vari materiali bersaglio. Rispetto ad apparecchiature simili, il dispositivo compatto di rivestimento a sputtering al plasma non solo è ampiamente utilizzato, ma presenta anche i vantaggi di dimensioni ridotte e facilità d'uso. È un'apparecchiatura ideale per la preparazione in laboratorio di film di materiali. Il dispositivo compatto di rivestimento a sputtering al plasma è particolarmente adatto per la ricerca di laboratorio su batterie a film sottile, elettroliti solidi e OLED. Rispetto al normale sputtering magnetron, può essere utilizzato per esperimenti di rivestimento su bersagli al litio e bersagli in materiali a base di litio. Si tratta di un'attrezzatura ideale per esperimenti di rivestimento in laboratorio nel settore delle nuove energie.
Vantaggi del rivestimento a sputtering magnetron RF a tre target:
1. Dotato di tre bersagli di sputtering, un alimentatore RF può essere commutato su qualsiasi testa bersaglio tramite un interruttore di trasferimento, consentendo la deposizione mediante sputtering di vari materiali bersaglio (le pistole bersaglio possono essere intercambiate in base alle esigenze dell'utente).
2. In grado di preparare molteplici tipi di film sottili, con un'ampia gamma di applicazioni.
3. Dimensioni compatte e facile utilizzo.
4. L'intero sistema adotta un design modulare: la camera a vuoto, l'unità di pompaggio del vuoto e l'alimentatore di controllo sono separati in modo indipendente, consentendo una configurazione flessibile in base alle esigenze dell'utente.
5. Gli utenti possono scegliere la configurazione dell'alimentatore in base alle esigenze effettive: un alimentatore che controlla più target oppure più alimentatori che controllano in modo indipendente ciascun target (facoltativo).
6. Il sistema può essere utilizzato all'interno di una glove box per la deposizione utilizzando vari materiali target sensibili all'ossidazione.
Parametri tecnici del rivestimento compatto a sputtering al plasma:
| Nome del prodotto | VGB-600-3HD Plasma Sputtering Coater compatto |
| Modello del prodotto | VGB-600-3HD |
| Parametri principali | Parte di sputtering magnetron a tre bersagli: 1. Tensione di alimentazione: 220V 50Hz. 2. Potenza totale: 2,5 kW. 3. Vuoto finale: < E-6 mbar (può raggiungere E-3 mbar se utilizzato con le nostre apparecchiature di pompaggio meccanico). 4. Temperatura di lavoro: RT-500℃, precisione ±1℃ (la temperatura può essere aumentata in base alle effettive esigenze). 5. Numero di mitragliatrici: 3. 6. Metodo di raffreddamento della pistola bersaglio: raffreddamento ad acqua. 7. Dimensioni del bersaglio: Ø2", spessore 0,1 mm-5 mm (lo spessore varia a seconda dei diversi materiali del bersaglio). 8. Potenza di sputtering: 300 W (RF)/500 W (DC). 9. Supporto del campione: Ø140mm. 10. Velocità del supporto del campione: regolabile tra 1 e 20 giri/min. 11. Gas protettivo: gas inerte come Ar e N2. 12. Percorso del gas in ingresso: il misuratore di portata di massa controlla 2 percorsi di ingresso, un flusso è di 100 SCCM e l'altro flusso è di 200 SCCM. |
Gparte della scatola dell'amore: 1. Alimentazione: monofase AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Materiale della calotta: acciaio inossidabile 304. 3. Camera del vano portaoggetti: 1220 mm × 760 mm × 900 mm. 4. Camera pre-stadio: ci sono 2 camere pre-stadio, la camera pre-stadio grande è Ø360mm×600mm e la camera pre-stadio piccola è Ø150mm×300mm. 5. Ambiente della camera: contenuto d'acqua <1 ppm (20℃, 1 atm), contenuto di ossigeno <1 ppm (20℃, 1 atm). 6. Gas di lavoro: gas inerte come N2, Ar, Lui. 7. Gas di controllo: aria compressa o gas inerte. 8. Gas di riduzione: una miscela di gas di lavoro e H2(se il sistema di depurazione ha solo la funzione di rimuovere l'acqua, il gas di riduzione è lo stesso del gas di lavoro). 9. Sistema di purificazione del gas: materiali deossidanti BASF tedeschi, materiali assorbenti l'acqua UOP americani, controllo automatico del processo di rigenerazione del sistema di purificazione, funzioni automatiche di disidratazione e deossidazione, in grado di mantenere la purezza del gas a livelli di acqua <1 ppm e ossigeno <1 ppm per lungo tempo. 10. Sistema di controllo della pressione: la pressione dell'aria nella cavità può essere controllata automaticamente dal touch screen del PLC con una precisione di controllo di ±1 Pa e può anche essere controllata manualmente tramite l'interruttore a pedale. 11. Sistema di filtraggio: i filtri sono installati alle estremità di ingresso e di uscita, con una precisione di filtrazione di 0,3 μm. 12. Sistema di controllo: touch screen a colori SIEMENS (6 pollici), sistema di controllo PLC, commutabile bilingue cinese e inglese; La sonda dell'acqua adotta il marchio americano GE, display touch screen da 0-1000 ppm, precisione 0,1 ppm; Il trasmettitore di ossigeno adotta il marchio americano AII, display touch screen da 0-1000 ppm, precisione 0,1 ppm; Il sensore di pressione adotta il marchio americano Setra, display touch screen da -2500-2500Pa, precisione ±1Pa; 13. Pompa per vuoto: marca britannica EDWARDS, velocità di pompaggio 8,4 m3/h-12m3/H. 14. Guanti: gomma sintetica butilica marca American NORTH. 15. Sistema di illuminazione: tubo fluorescente marca Philips. | |
| Specifiche del prodotto | · Parte di sputtering magnetron a tre bersagli: 950 mm × 460 mm × 810 mm. · Parte del vano portaoggetti: 2300 mm×1500 mm×1900 mm. |
Impegno di qualità di tre obiettivi del rivestimento a sputtering magnetron RF:
La nostra azienda garantisce che il rivestimento compatto a sputtering al plasma fornito è nuovo e inutilizzato, soddisfa pienamente i requisiti di qualità, specifiche e prestazioni stipulati nel contratto e che il nostro sistema di preparazione delle batterie a film sottile con glove box può funzionare normalmente in condizioni di installazione, utilizzo e manutenzione corrette e per tutta la durata di vita utile.
Garanzia:
Garanzia limitata di un anno, supporto a vita (escluse le parti arrugginite a causa di condizioni di conservazione improprie)
I nostri servizi:
I nostri prodotti sono riconosciuti da molti clienti per le loro eccellenti prestazioni, la qualità costante e la durevolezza a lungo termine. Disponiamo di un team tecnico professionale in grado di fornire ai clienti una gamma completa di servizi di supporto, come la selezione dei prodotti, l'installazione e la messa in servizio, nonché la formazione operativa. Qualunque sia il problema che riscontrate durante l'utilizzo, ci impegneremo a fornirvi soluzioni tempestive ed efficaci per garantire che la vostra linea di produzione funzioni in modo efficiente e stabile.
About us:
Non molto tempo fa, il nostro distretto di Singapore ha partecipato all'Asia Photonics Expo (APE 2025), dove abbiamo esposto le nostre macchine per la rettifica e lucidatura, le macchine per il rivestimento e altri prodotti. Dopo aver ricevuto informazioni dettagliate sui prodotti, molti clienti hanno elogiato le nostre attrezzature e hanno espresso il desiderio di collaborare con noi.
