Rivestimento Sputtering al plasma con 3 sorgenti Sputtering
brand Shenyang Kejing
Prodotti di origine Shenyang, Cina
Il Tempo di consegna 22 giorni lavorativi
La capacità di approvvigionamento 50 set
VTC-600-3HD Threel-Head Magnetron Sputtering Coater è un'apparecchiatura di rivestimento recentemente sviluppata dalla nostra azienda e viene utilizzata per preparare film ferroelettrici monostrato o multistrato, film conduttivi, film in lega, film semiconduttori, film ceramici, film dielettrici , pellicola ottica, pellicola di ossido, pellicola dura, pellicola di PTFE, ecc. Il rivestimento sputtering magnetron a tre teste VTC-600-3HD è dotato di tre pistole target, un alimentatore RF per il rivestimento sputtering di materiali non conduttivi e due alimentatori CC forniture per il rivestimento sputtering di materiali conduttivi.
Caratteristiche principali
1. È dotato di tre pistole target, un alimentatore RF viene utilizzato per il rivestimento sputtering di materiali non conduttivi e due alimentatori CC vengono utilizzati per il rivestimento sputtering di materiali conduttivi (la pistola target può essere sostituita in base alle esigenze del cliente) .
2. È possibile preparare una varietà di film sottili con un'ampia gamma di applicazioni.
3. Piccole dimensioni e facile da usare
4. Design modulare dell'intera macchina; design separato/diviso della camera a vuoto, del gruppo pompa a vuoto e dell'alimentazione di controllo, che può essere regolato in base alle effettive esigenze degli utenti.
5. L'alimentazione può essere selezionata in base alle effettive esigenze dell'utente. Un alimentatore può controllare più pistole bersaglio, oppure più fonti di alimentazione possono controllare una singola pistola bersaglio.
TParametri tecnici
nome del prodotto | VTC-600-3HD Rivestimento magnetron sputtering a tre teste |
Modello di prodotto | VTC-600-3HD |
Condizioni di installazione | È necessario utilizzare questa apparecchiatura a un'altitudine di 1.000 m o inferiore, a una temperatura di 25 ℃ ± 15 ℃ e a un'umidità di 55% Rh ± 10% Rh. 1. Acqua: l'apparecchiatura è dotata di un refrigeratore d'acqua a circolazione automatica (riempimento con acqua pura o acqua deionizzata) 2. Elettricità: AC220V 50Hz, deve avere una buona messa a terra 3. gas: la camera dell'apparecchiatura deve essere riempita con gas argon (purezza 99,99% o superiore) e le bombole di gas argon (con giunti a doppia ghiera Ø6 mm) e la valvola di riduzione della pressione devono essere fornite dagli utenti. 4. Banco da lavoro: dimensioni 1500 mm × 600 mm × 700 mm, con carico superiore a 200 kg 5. Dispositivo di ventilazione: necessario |
Parametri principali (Specifica) | 1. Tensione di alimentazione: 220 V 50 Hz 2. Potenza: <2,5 kW 3. Limite del grado di vuoto: E-6mbar (E-5mbar può essere raggiunto se utilizzato con le apparecchiature della nostra azienda) 4. Temperatura di riscaldamento: RT-500℃, precisione ±1℃ (la temperatura può essere aumentata in base alle esigenze effettive). 5. Numero di pistole bersaglio: 3 pezzi 6. Metodo di raffreddamento della pistola target: raffreddamento ad acqua 7. Dimensioni del materiale target: Ø2″, spessore 0,1-5 mm (spessori diversi a causa dei diversi materiali target) 8. Potenza di sputtering CC: 500 W (opzionale) 9. Potenza sputtering RF: 300 W/500 W (opzionale) 10. Stadio campione: Ø140 mm, la funzione opzionale di tensione di polarizzazione può essere installata in base alle esigenze del cliente per ottenere una qualità di rivestimento più elevata. 11. Velocità del tavolino campione: regolabile tra 1 e 20 giri/min 12. Gas di lavoro: Ar, N2e altri gas inerti 13. Percorso dell'aria in ingresso: il flussometro di massa controlla 2 percorsi di aspirazione dell'aria, uno è 100SCCM e l'altro è 200SCCM. |
Dimensioni e peso del prodotto | dimensione della macchina principale: 500 mm × 560 mm × 660 mm Dimensione complessiva: 1300 mm×660 mm×1200 mm Peso: 160kg
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Accessori standard | 1. Sistema di controllo dell'alimentazione CC: 2 set 2. Sistema di controllo della potenza RF: 1 set 3. Sistema di monitoraggio dello spessore della pellicola: 1 set 4. Pompa molecolare (importata dalla Germania): 1 pz 5. Raffreddatore d'acqua: 1 pz 6.Tubo in poliestere PU (Ø6mm): 4m |
accessori opzionali | 1. Vari materiali target come oro, indio, argento, platino, ecc. 2. Maschera 3. Tavolino vibrante per campioni |
Garanzia
Un anno limitato con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)
la logistica
