Rivestitore a sputtering magnetron a tre obiettivi per il rivestimento di substrati e wafer
1. Il sistema di preparazione della batteria a film sottile con glove box è dotato di tre pistole bersaglio e un alimentatore RF corrispondente può essere collegato a qualsiasi testa bersaglio tramite un interruttore di conversione, che viene utilizzato per il rivestimento mediante sputtering di vari materiali bersaglio (la pistola bersaglio può essere sostituita in qualsiasi momento in base alle esigenze del cliente).
2. Il sistema di preparazione delle batterie a film sottile con glove box può preparare una varietà di film sottili ed è ampiamente utilizzato.
3. Il sistema di preparazione della batteria a film sottile con vano portaoggetti è di piccole dimensioni e molto facile da usare.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione del rivestimento compatto a sputtering al plasma:
Il sistema di preparazione delle batterie a film sottile VGB-600-3HD con glove box può essere utilizzato per operazioni sperimentali nel glove box ed è utilizzato per preparare film sottili ferroelettrici monostrato o multistrato, film sottili conduttivi, film sottili in lega, film sottili semiconduttori, film sottili ceramici, film sottili dielettrici, film sottili ottici, film sottili in ossido, film sottili duri, film sottili in politetrafluoroetilene, ecc. Il rivestimento compatto a sputtering al plasma è dotato di tre pistole bersaglio e un alimentatore RF corrispondente può essere collegato a qualsiasi testa bersaglio tramite un interruttore di conversione, che viene utilizzato per il rivestimento a sputtering di vari materiali bersaglio. Rispetto ad apparecchiature simili, il rivestimento compatto a sputtering al plasma non è solo ampiamente utilizzato, ma ha anche i vantaggi di piccole dimensioni e facile utilizzo. È un'apparecchiatura ideale per la preparazione in laboratorio di film di materiali. Il rivestimento compatto a sputtering al plasma è particolarmente adatto per la ricerca in laboratorio su batterie a film sottile, elettroliti solidi e OLED. Rispetto al normale sputtering magnetron, può essere utilizzato per esperimenti di rivestimento su bersagli Li e bersagli di materiali a base di litio. Si tratta di un'attrezzatura ideale per esperimenti di rivestimento in laboratorio nel settore delle nuove energie.
Vantaggi del rivestimento a sputtering magnetron RF a tre target:
1. Il rivestimento tramite sputtering magnetron RF a tre target adotta un design modulare e la camera a vuoto, il gruppo pompa a vuoto e l'alimentatore di controllo sono divisi e possono essere regolati in base alle effettive esigenze degli utenti.
2. Il rivestimento a sputtering magnetron RF a tre obiettivi può selezionare l'alimentazione in base alle effettive esigenze degli utenti. Un alimentatore può controllare più pistole bersaglio o più alimentatori possono controllare una singola pistola bersaglio (opzionale).
3. Il rivestimento mediante sputtering magnetron RF a tre target può essere utilizzato per operazioni sperimentali nella glove box e vari tipi di materiali target facilmente ossidabili possono essere sostituiti per gli esperimenti di rivestimento.
Parametri tecnici del rivestimento compatto a sputtering al plasma:
| Nome del prodotto | VGB-600-3HD Plasma Sputtering Coater compatto |
| Modello del prodotto | Modello VGB-600-3HD |
| Parametri principali | Parte di sputtering magnetron a tre bersagli: 1. Tensione di alimentazione: 220V 50Hz. 2. Potenza totale: 2,5KW. 3. Vuoto finale: < E-6 mbar (può raggiungere E-3 mbar se utilizzato con le nostre pompe meccaniche). 4. Temperatura di lavoro: RT-500℃, precisione ±1℃ (la temperatura può essere aumentata in base alle effettive esigenze). 5. Numero di mitragliatrici: 3. 6. Metodo di raffreddamento della pistola bersaglio: raffreddamento ad acqua. 7. Dimensioni del bersaglio: Ø2", spessore 0,1 mm-5 mm (lo spessore varia a causa dei diversi materiali del bersaglio). 8. Potenza di sputtering: 300 W (RF)/500 W (DC). 9. Supporto campione: Ø140mm. 10. Velocità del supporto campione: regolabile tra 1 e 20 giri/min. 11. Gas di protezione: gas inerte come Ar e N2. 12. Percorso del gas in ingresso: il misuratore di portata di massa controlla 2 percorsi di ingresso, un flusso è di 100 SCCM e l'altro flusso è di 200 SCCM. |
Gparte della scatola dell'amore: 1. Alimentazione: monofase AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Materiale della calotta: acciaio inossidabile 304. 3. Dimensioni vano portaoggetti: 1220 mm × 760 mm × 900 mm. 4. Camera di pre-stadio: ci sono 2 camere di pre-stadio, la camera di pre-stadio grande è Ø360mm×600mm e la camera di pre-stadio piccola è Ø150mm×300mm. 5. Ambiente della camera: contenuto d'acqua <1 ppm (20℃, 1 atm), contenuto di ossigeno <1 ppm (20℃, 1 atm). 6. Gas di lavoro: gas inerte come N2, Ar, He. 7. Gas di controllo: aria compressa o gas inerte. 8. Gas di riduzione: miscela di gas di lavoro e H2 (se il sistema di purificazione ha solo la funzione di rimuovere l'acqua, il gas di riduzione è lo stesso del gas di lavoro). 9. Sistema di purificazione del gas: materiali deossidanti BASF tedeschi, materiali assorbenti l'acqua UOP americani, controllo automatico del processo di rigenerazione del sistema di purificazione, funzioni automatiche di disidratazione e deossidazione, in grado di mantenere la purezza del gas a livelli di acqua <1 ppm e ossigeno <1 ppm per lungo tempo. 10. Sistema di controllo della pressione: la pressione dell'aria nella cavità può essere controllata automaticamente dal touch screen del PLC con una precisione di controllo di ±1 Pa e può anche essere controllata manualmente dall'interruttore a pedale. 11. Sistema di filtraggio: i filtri sono installati all'estremità di ingresso e di uscita, con una precisione di filtrazione di 0,3 μm. 12. Sistema di controllo: touch screen a colori SIEMENS (6 pollici), sistema di controllo PLC, commutabile bilingue cinese e inglese; La sonda per l'acqua adotta il marchio americano GE, display touch screen da 0-1000 ppm, precisione 0,1 ppm; Il trasmettitore di ossigeno adotta il marchio americano AII, display touch screen da 0-1000 ppm, precisione 0,1 ppm; Il sensore di pressione adotta il marchio americano Setra, display touch screen da -2500-2500 Pa, precisione ±1 Pa; 13. Pompa per vuoto: marca britannica EDWARDS, velocità di pompaggio 8,4 m3/h-12 m3/h. 14. Guanti: gomma sintetica butilica marca American NORTH. 15. Sistema di illuminazione: tubo fluorescente marca Philips. | |
| Specifiche del prodotto | Parte per sputtering magnetron a tre bersagli: 950 mm × 460 mm × 810 mm. Parte del vano portaoggetti: 2300mm×1500mm×1900mm. |
Impegno per la qualità di tre obiettivi del rivestimento con sputtering magnetron RF:
La nostra azienda garantisce che il rivestimento mediante sputtering al plasma compatto fornito è nuovo e inutilizzato, soddisfa pienamente i requisiti di qualità, specifiche e prestazioni stabiliti nel contratto e che il nostro sistema di preparazione delle batterie a film sottile con glove box può funzionare normalmente in condizioni di installazione, utilizzo e manutenzione corrette e per tutta la durata di vita utile.
Garanzia:
Garanzia limitata di un anno, supporto a vita (escluse le parti arrugginite a causa di condizioni di conservazione improprie)
I nostri servizi:
I nostri prodotti sono riconosciuti da molti clienti per le loro eccellenti prestazioni, la qualità stabile e la durevolezza a lungo termine. Abbiamo un team tecnico professionale in grado di fornire ai clienti una gamma completa di servizi di supporto, come la selezione del prodotto, l'installazione e la messa in servizio e la formazione operativa. Indipendentemente dai problemi che incontri durante l'uso, ci impegneremo a fornirti soluzioni tempestive ed efficaci per far funzionare la tua linea di produzione in modo efficiente e stabile.
Chi siamo:
Non molto tempo fa, il nostro distretto di Singapore ha partecipato all'Asia Photonics Expo (APE 2025), dove abbiamo esposto le nostre macchine per la rettifica e la lucidatura, le macchine per il rivestimento e altri prodotti. Dopo aver appreso in dettaglio i prodotti, molti clienti hanno elogiato le nostre attrezzature e hanno espresso il loro desiderio di collaborare con noi.
