Strumento di sputtering magnetron a tre bersagli
1. L'attrezzatura di rivestimento a tre bersagli offre elevata precisione, errori di risultato ridotti e maggiore tranquillità durante l'uso.
2. L'attrezzatura di rivestimento a tre bersagli è facile da usare e riduce i tempi di apprendimento.
3. L'attrezzatura di rivestimento a tre target è adatta a una varietà di materiali, riducendo il consumo di più attrezzature.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione di apparecchiature di rivestimento sotto vuoto a tre target:
L'apparecchiatura per rivestimento sotto vuoto a tre target VTC-600-3HD-1000 è un'apparecchiatura per rivestimento sotto vuoto ad alto vuoto di recente sviluppo della nostra azienda. Può essere utilizzata per preparare film ferroelettrici monostrato o multistrato, film conduttivi, film in lega, film semiconduttori, film ceramici, film dielettrici, film ottici, film di ossido, film rigidi, film di politetrafluoroetilene, ecc. L'apparecchiatura per rivestimento sotto vuoto a tre target VTC-600-3HD-1000 è dotata di tre pistole di puntamento e tre alimentatori: un alimentatore RF viene utilizzato per il rivestimento a sputtering di materiali non conduttivi, un alimentatore CC viene utilizzato per il rivestimento a sputtering di materiali conduttivi e un potente bersaglio magnetico può essere utilizzato per il rivestimento a sputtering di materiali ferromagnetici. Rispetto ad apparecchiature simili, l'apparecchiatura per rivestimento sotto vuoto a tre target presenta i vantaggi di dimensioni ridotte e facilità d'uso, e può essere utilizzata con un'ampia gamma di materiali. È un'apparecchiatura ideale per la preparazione di film di vari materiali in laboratorio.
Caratteristiche principali del rivestimento sputtering a triplo bersaglio ad alto vuoto:
1. Il rivestimento a sputtering a triplo bersaglio ad alto vuoto è dotato di tre pistole bersaglio, due alimentatori RF corrispondenti vengono utilizzati per il rivestimento a sputtering di materiali bersaglio non conduttivi e un alimentatore CC corrispondente viene utilizzato per il rivestimento a sputtering di materiali conduttivi.
2. Il rivestimento a sputtering a triplo bersaglio ad alto vuoto può preparare una varietà di film sottili ed è ampiamente utilizzato.
3. Il rivestimento sputtering a triplo bersaglio ad alto vuoto è di piccole dimensioni e facile da usare.
Parametri tecnici dell'attrezzatura di rivestimento a tre bersagli:
| Nome del prodotto | VTC-600-3HD-1000 Tre bersagliStrumento di sputtering magnetron |
Modello del prodotto | VTC-600-3HD-1000 |
| Condizioni di installazione | Questa apparecchiatura deve essere utilizzata in condizioni di temperatura pari a 25 ℃ ± 15 ℃ e umidità pari al 55% ± 10% UR. 1. Acqua: l'apparecchiatura è dotata di un refrigeratore autocircolante (da riempire con acqua purificata o deionizzata). 2. Alimentazione: CA 220 V, 50 Hz, con adeguata messa a terra richiesta. 3. Gas: la camera deve essere riempita con gas argon (purezza ≥ 99,99%). L'utente deve predisporre una bombola di argon (con raccordo a doppia ghiera Ø6 mm) e un regolatore di pressione. 4. Banco da lavoro: Dimensioni 1500 mm × 600 mm × 700 mm, con una capacità di carico ≥ 200 kg. 5. Ventilazione: obbligatoria. |
Parametri principali | 1. Potenza in ingresso: 220V/50Hz. 2. Numero di bersagli sputtering: 3. 3. Diametro interno della camera: Ø300mm. 4. Metodo di raffreddamento della pistola bersaglio: raffreddamento ad acqua. 5. Grado di vuoto finale: 7,4E-5pa. 6. Specifiche della camera a vuoto: Φ300×330 mm. 7. Sistema del vuoto: pompa meccanica VRD-16 pompa turbomolecolare FF-100/150. 8. Ripristino del vuoto: il sistema viene pompato dall'atmosfera a 5,0E-3pa≤30 min (il sistema viene esposto all'atmosfera per un breve periodo). 9. Sistema di gonfiaggio: misuratore di portata di massa a 2 vie (1 via argon 100scc, 1 via argon 200scc) È possibile personalizzare il gas speciale. 10. Specifiche del target di sputtering: Φ2", spessore 0,1-5 mm (lo spessore varia a seconda dei diversi materiali del target). 11. Stadio campione: Φ70mm//riscaldabile (temperatura ambiente ~ 1000℃). |
Specifiche del prodotto | Dimensioni host: larghezza 900 mm × profondità 650 mm × altezza 1100 mm |
Accessori opzionali
| NO. | Nome | Categoria di funzione | Immagine |
| 1 | Vari obiettivi (oro, indio, argento, platino, ecc.) | Opzionale | - |
| 2 | Bersaglio magnetico forte (per la polverizzazione di materiali ferromagnetici) | Opzionale | - |
| 3 | Maschera | Opzionale | - |
| 4 | Fase di campionamento vibrante | Opzionale | - |
| 5 | Dispositivo di rivestimento rotante a doppio strato | Opzionale |  |
Garanzia:
Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate).
Logistica
Chi siamo:
La nostra azienda è profondamente impegnata nel settore della produzione cinematografica da molti anni e vanta un'esperienza straordinaria. Allo stesso tempo, la nostra azienda dispone di una varietà di attrezzature adatte a diversi materiali per soddisfare le vostre diverse esigenze. Possiamo anche aiutarvi a testare l'efficacia delle attrezzature. Potete fornirci dei campioni e noi li prepareremo per farvi vedere l'effetto dei nostri prodotti in modo più intuitivo. Se i nostri prodotti vi soddisfano, potete acquistarli e svolgere il vostro lavoro in modo più agevole.
Dalla consulenza al post-vendita, possiamo offrire un servizio di prima classe a ogni cliente. Il nostro team di professionisti può consigliarvi l'attrezzatura più adatta alle vostre esigenze, fornirvi supporto tecnico durante l'utilizzo del prodotto, rispondere alle vostre domande e aiutarvi a realizzare il progetto in modo più fluido. Crediamo che, grazie alla nostra pluriennale esperienza, possiamo aiutare più aziende a raggiungere i propri obiettivi.
