Strumento di sputtering magnetron a tre target
1. L'attrezzatura di rivestimento a tre bersagli offre elevata precisione, errori di risultato ridotti e maggiore tranquillità durante l'uso.
2. L'attrezzatura di rivestimento a tre bersagli è facile da usare e riduce i tempi di apprendimento.
3. L'attrezzatura di rivestimento a tre target è adatta a una varietà di materiali, riducendo il consumo di più attrezzature.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione di apparecchiature di rivestimento sotto vuoto a tre target:
L'apparecchiatura di rivestimento sotto vuoto a tre bersagli VTC-600-3HD-1000 è un'apparecchiatura di rivestimento ad alto vuoto di recente sviluppo da parte della nostra azienda. Può essere utilizzata per preparare pellicole ferroelettriche monostrato o multistrato, pellicole conduttive, pellicole in lega, pellicole semiconduttrici, pellicole ceramiche, pellicole dielettriche, pellicole ottiche, pellicole di ossido, pellicole dure, pellicole di politetrafluoroetilene, ecc. L'apparecchiatura di rivestimento sotto vuoto a tre bersagli VTC-600-3HD-1000 è dotata di tre pistole bersaglio e tre alimentatori, un alimentatore RF viene utilizzato per il rivestimento a sputtering di materiali non conduttivi, un alimentatore CC viene utilizzato per il rivestimento a sputtering di materiali conduttivi e un potente bersaglio magnetico può essere utilizzato per il rivestimento a sputtering di materiali ferromagnetici. Rispetto ad apparecchiature simili, l'apparecchiatura di rivestimento sotto vuoto a tre bersagli presenta i vantaggi di dimensioni ridotte e facilità d'uso e può essere utilizzata un'ampia gamma di materiali. È un'apparecchiatura ideale per la preparazione di vari film di materiali in laboratorio.
Caratteristiche principali del rivestimento sputtering a triplo bersaglio ad alto vuoto:
1. Il rivestimento per sputtering a triplo bersaglio ad alto vuoto è dotato di tre pistole bersaglio, due alimentatori RF corrispondenti vengono utilizzati per il rivestimento mediante sputtering di materiali bersaglio non conduttivi e un alimentatore CC corrispondente viene utilizzato per il rivestimento mediante sputtering di materiali conduttivi.
2. Il rivestimento sputtering a triplo bersaglio ad alto vuoto può preparare una varietà di film sottili ed è ampiamente utilizzato.
3. Il rivestimento sputtering a triplo bersaglio ad alto vuoto è di piccole dimensioni e facile da usare.
Parametri tecnici dell'attrezzatura di rivestimento a tre bersagli:
| Nome del prodotto | Strumento di sputtering magnetron a doppio bersaglio VTC-600-3HD-1000 |
Modello del prodotto | Modello VTC-600-3HD-1000 |
Parametri principali | 1. Potenza in ingresso: 220V/50Hz. 2. Numero di bersagli sputtering: 3. 3. Diametro interno della camera: Ø300mm. 4. Metodo di raffreddamento della pistola bersaglio: raffreddamento ad acqua. 5. Grado di vuoto finale: 7,4E-5pa. 6. Specifiche della camera a vuoto: Φ300×330 mm. 7. Sistema del vuoto: pompa meccanica VRD-16, pompa turbomolecolare FF-100/150. 8. Ripristino del vuoto: il sistema viene pompato dall'atmosfera a 5,0E-3pa≤30 min (il sistema viene esposto all'atmosfera per un breve periodo). 9. Sistema di gonfiaggio: misuratore di portata di massa a 2 vie (1 via argon 100scc, 1 via argon 200scc). È possibile personalizzare il gas speciale. 10. Specifiche del target di sputtering: Φ2", spessore 0,1-5 mm (lo spessore varia a seconda dei diversi materiali del target). 11. Stadio campione: Φ70mm//riscaldabile (temperatura ambiente ~ 1000℃). |
Specifiche del prodotto | Dimensioni host: larghezza 900 mm × profondità 650 mm × altezza 1100 mm |
Garanzia:
Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate).
Logistica
Chi siamo:
La nostra azienda è profondamente coinvolta nel campo della produzione cinematografica da molti anni e ha una superba esperienza. Allo stesso tempo, la nostra azienda ha una varietà di attrezzature adatte a diversi materiali per soddisfare le tue varie esigenze. Possiamo anche aiutarti a testare l'effetto dell'attrezzatura. Puoi fornire campioni e noi prepareremo campioni per farti vedere l'effetto dei nostri prodotti in modo più intuitivo. Se approvi i nostri prodotti, puoi acquistarli e svolgere il tuo lavoro in modo più fluido.
