Rivestimento Sputtering al plasma magnetron ad alto vuoto a testa singola

Modello di prodotto

VTC-600-1HD

Condizioni di installazione

È necessario utilizzare questa apparecchiatura a un'altitudine di 1.000 m o inferiore, a una temperatura di 25 ℃ ± 15 ℃ e a un'umidità di 55% Rh ± 10% Rh.

1. Acqua: l'apparecchiatura è dotata di un refrigeratore d'acqua a circolazione automatica (riempimento con acqua pura o acqua deionizzata)

2. Elettricità: AC220V 50Hz, deve avere una buona messa a terra

3. gas: la camera dell'apparecchiatura deve essere riempita con gas argon (purezza 99,99% o superiore) e le bombole di gas argon (con giunti a doppia ghiera Ø6 mm) e la valvola di riduzione della pressione devono essere fornite dagli utenti.

4. Banco da lavoro: dimensioni 1500 mm × 600 mm × 700 mm, con carico superiore a 200 kg

5. Dispositivo di ventilazione: necessario

Parametri principali

(Specifica)

1. Tensione di alimentazione: 220 V 50 Hz

2. Potenza: <1KW (esclusa la pompa a vuoto)

3. Diametro interno della camera: Ø300mm

4. Limite del grado di vuoto: 9,0×10-4Pa

5. Temperatura di riscaldamento del piano campione: RT-500℃, precisione ±1℃ (la temperatura può essere aumentata in base alle esigenze effettive).

6. Numero di pistole bersaglio: 1 pz (altre quantità per opzione)

7. Metodo di raffreddamento della pistola target: raffreddamento ad acqua

8. Dimensioni del materiale target: Ø2″, spessore 0,1-5 mm (spessori diversi a causa dei diversi materiali target)

9. Potenza di sputtering CC: 500 W; Potenza sputtering RF: 300 W (il tipo di alimentatore target è opzionale: un alimentatore CC o un alimentatore RF.)

10. Stadio campione: Ø140 mm, la funzione opzionale di tensione di polarizzazione può essere installata in base alle esigenze del cliente per ottenere una qualità di rivestimento più elevata.

11. Velocità del tavolino campione: regolabile tra 1rpm e 20rpm

12. Gas di lavoro: Ar e altri gas inerti

13. Percorso dell'aria in ingresso: il flussometro di massa controlla 2 percorsi di aspirazione dell'aria, uno è 100SCCM e l'altro è 200SCCM.

Dimensioni e peso del prodotto

1. dimensione della macchina principale: 500 mm × 560 mm × 660 mm

2. Dimensione complessiva: 1300 mm×660 mm×1200 mm

3. Peso: 160 kg

4. Dimensione della camera a vuoto: φ300×300mm

Accessori standard

1. Sistema di controllo dell'alimentazione CC: 1 set (opzionale)

2. Sistema di controllo della potenza RF: 1 set (opzionale)

3. Raffreddatore d'acqua: 1 pz

4. Tubo in poliestere PU (Ø6mm): 4m

accessori opzionali

1. Vari materiali target come oro, indio, argento, platino, ecc.

2. Sistema di monitoraggio dello spessore del film

3. pompa molecolare (importata dalla Germania)