Sputtering Coater al plasma magnetron ad alto vuoto a testa singola

Modello di prodotto

VTC-600-1HD

Condizioni di installazione

Questa apparecchiatura deve essere utilizzata a un'altitudine di 1000 m o inferiore, una temperatura di 25 ℃ ± 15 ℃ e un'umidità del 55% Rh ± 10% Rh.

1. Acqua: l'apparecchiatura è dotata di un refrigeratore d'acqua a circolazione automatica (riempimento con acqua pura o acqua deionizzata)

2. Elettricità: AC220V 50Hz, deve avere una buona messa a terra

3. gas: la camera dell'apparecchiatura deve essere riempita con gas argon (purezza 99,99% o superiore) e le bombole di gas argon (con giunti a doppia ghiera Ø6mm) e la valvola di riduzione della pressione devono essere fornite dagli utenti.

4. Banco da lavoro: dimensioni 1500 mm × 600 mm × 700 mm, sopportando più di 200 kg

5. Dispositivo di ventilazione: necessario

Parametri principali

(Specifica)

1. Tensione di alimentazione: 220V 50Hz

2. Potenza: <1KW (esclusa la pompa del vuoto)

3. Diametro interno della camera: Ø300mm

4. Limite del grado di vuoto: 9.0×10-4Pa

5. Temperatura di riscaldamento della fase del campione: RT-500 ℃, precisione ± 1 ℃ (la temperatura può essere aumentata in base alle effettive esigenze).

6. Numero di pistole bersaglio: 1 pz (altre quantità per opzione)

7. Metodo di raffreddamento della pistola bersaglio: raffreddamento ad acqua

8. Dimensione del materiale target: Ø2″, spessore 0,1-5 mm (spessore diverso a causa dei diversi materiali target)

9. Potenza di sputtering CC: 500 W; Potenza sputtering RF: 300 W (il tipo di alimentatore target è opzionale: un alimentatore CC o un alimentatore RF).

10. Fase di campionamento: Ø140mm, la funzione di tensione di polarizzazione opzionale può essere installata in base alle esigenze del cliente per ottenere una maggiore qualità del rivestimento.

11. Velocità della fase del campione: registrabile all'interno di 1rpm-20rpm

12. Gas di lavoro: Ar e altri gas inerti

13. Percorso dell'aria di aspirazione: il flussometro di massa controlla 2 percorsi di aspirazione dell'aria, uno è 100 SCCM e l'altro è 200 SCCM.

Dimensioni e peso del prodotto

1. dimensione della macchina principale: 500 mm × 560 mm × 660 mm

2. Dimensione complessiva: 1300mm×660mm×1200mm

3. Peso: 160 kg

4. Dimensione della camera a vuoto: φ300×300mm

Accessori standard

1. Sistema di controllo dell'alimentazione CC: 1 set (opzionale)

2. Sistema di controllo della potenza RF: 1 set (opzionale)

3. Radiatore acqua: 1 pz

4. Tubo in poliestere PU (Ø6mm): 4m

accessori opzionali

1. Vari materiali target come oro, indio, argento, platino, ecc.

2. Sistema di monitoraggio dello spessore del film

3. pompa molecolare (importata dalla Germania)