Strumento di sputtering magnetron ad alto vuoto

Introduzione dell'apparecchiatura per sputtering magnetron:

Il rivestimento per sputtering magnetron ad alto vuoto VTC-600G è un'apparecchiatura di rivestimento di nuova concezione, che può essere utilizzata per preparare pellicole ferroelettriche monostrato o multistrato, pellicole conduttive, pellicole in lega, pellicole semiconduttrici, pellicole ceramiche, pellicole dielettriche, pellicole ottiche, pellicole di ossido, pellicole dure, pellicole in politetrafluoroetilene, ecc. L'apparecchiatura per sputtering magnetron VTC-600G può essere dotata di più pistole bersaglio e l'alimentatore RF corrispondente viene utilizzato per il rivestimento per sputtering di materiali bersaglio non conduttivi e l'alimentatore CC corrispondente viene utilizzato per il rivestimento per sputtering di materiali conduttivi. Rispetto ad apparecchiature simili, l'apparecchiatura per sputtering magnetron non solo è ampiamente utilizzata, ma presenta anche i vantaggi di dimensioni ridotte e facilità d'uso. È un'apparecchiatura ideale per la preparazione in laboratorio di pellicole di materiali, particolarmente adatta per la ricerca in laboratorio su elettroliti solidi e OLED.

Caratteristiche principali dell'apparecchiatura per sputtering magnetron:

· Lo strumento per sputtering magnetron sotto vuoto può essere dotato di più pistole bersaglio e l'alimentatore RF corrispondente viene utilizzato per il rivestimento mediante sputtering di materiali bersaglio non conduttivi, mentre l'alimentatore CC corrispondente viene utilizzato per il rivestimento mediante sputtering di materiali conduttivi (la pistola bersaglio può essere sostituita a piacimento in base alle esigenze del cliente).

·Lo strumento per sputtering magnetron sotto vuoto può preparare una varietà di film sottili ed è ampiamente utilizzato.

·Lo strumento per sputtering magnetron sotto vuoto è di piccole dimensioni e facile da usare.

·L'intera macchina ha un design modulare e la camera a vuoto, il gruppo pompa a vuoto e l'alimentatore di controllo sono progettati in modo separato, così da poter essere regolati in base alle effettive esigenze degli utenti.

·L'alimentatore può essere selezionato in base alle effettive esigenze dell'utente. Un alimentatore può controllare più pistole bersaglio, oppure più alimentatori possono controllare una singola pistola bersaglio.

Parametri tecnici dello strumento di sputtering magnetron sotto vuoto:

Nome del prodotto	Strumento di sputtering magnetron ad alto vuoto VTC-600G
Modello del prodotto	Modello VTC-600G
Parametri principali	1. Struttura: struttura della porta anteriore del tavolo, sistema di scarico posteriore.
	2. Vuoto finale: 6,0X10-5Pa.
	3. Tasso di perdita: 1h≤0,5Pa.
	4. Il tempo di scarico è di circa 20 minuti dall'atmosfera a 5,0X10-3.
	5. Gruppo pompa per vuoto: pompa meccanica + pompa molecolare.
	6. Stadio campione: φ140, temperatura ambiente -500℃, precisione ±1℃ (la temperatura può essere aumentata in base alle esigenze effettive) rotazione regolabile entro 5rpm-20rpm. La funzione di polarizzazione può essere aggiunta in base alle esigenze del cliente per ottenere un rivestimento di qualità superiore.
	7. Sistema di riempimento del gas: 2 misuratori di portata di massa (ciascuno argon/azoto).
	8. L'angolo tra la testa del bersaglio e l'asse centrale del supporto del campione è di 34°.
	9. Numero di teste bersaglio: 3 (120° l'una rispetto all'altra).
	10. Metodo di raffreddamento della pistola bersaglio: raffreddamento ad acqua.
	11. Dimensioni del materiale bersaglio: φ2″, spessore 0,1-5 mm (lo spessore varia a seconda dei diversi materiali bersaglio).
	12. Specifiche del prodotto: · Dimensioni: Dimensioni macchina completa: 700mm×852mm×1529mm;

Accessori opzionali dell'apparecchiatura per sputtering magnetron:

Garanzia:

Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)

Logistica:

Chi siamo:

Siamo un'azienda high-tech focalizzata sulla ricerca, sviluppo e produzione di macchine per rivestimenti, e siamo anche leader nel settore. Ognuno dei nostri prodotti è stato attentamente progettato e rigorosamente testato dai progettisti, e ha un alto livello di prestazioni e precisione delle apparecchiature. Non ci concentriamo solo sul prodotto in sé, ma prestiamo attenzione anche all'innovazione tecnologica e alle relazioni con i clienti, e ci impegniamo a fornire strumenti sperimentali di alto livello ai clienti globali.