Apparecchiature di rivestimento a sputtering magnetron ad alto vuoto

Introduzione delle apparecchiature di rivestimento da laboratorio:

VTC-800G è una piccola apparecchiatura di rivestimento a sputtering magnetron sviluppata in modo indipendente da noi. Questa piccola apparecchiatura di rivestimento è ampiamente utilizzata nella preparazione di film ferroelettrici monostrato o multistrato, film conduttivi, film in lega, film semiconduttori, film ceramici, film dielettrici, film ottici, film di ossido, film rigidi e film di politetrafluoroetilene.

Le piccole apparecchiature di rivestimento possono essere dotate di un sistema di pistola multi-bersaglio, che supporta lo sputtering di potenza RF di materiali non conduttivi e lo sputtering di potenza CC di materiali conduttivi per soddisfare vari requisiti di processo.

Rispetto ad apparecchiature simili, il sistema di rivestimento VTC-800G Small è compatto, facile da usare e versatile. È la scelta ideale per la preparazione in laboratorio di materiali funzionali a film sottile, particolarmente indicato per la ricerca e lo sviluppo di nuovi materiali come elettroliti solidi e OLED.

Caratteristiche principali delle apparecchiature di rivestimento di precisione:

1. Le piccole apparecchiature di rivestimento possono essere dotate di più pistole di puntamento, che supportano alimentatori RF e CC, che vengono utilizzati per il rivestimento a sputtering di materiali di puntamento rispettivamente non conduttivi e conduttivi, e le pistole di puntamento possono essere sostituite in modo flessibile secondo necessità;

2. Le apparecchiature di rivestimento di precisione sono compatibili con la preparazione di vari film funzionali e hanno un'ampia gamma di applicazioni;

3. Le apparecchiature di rivestimento di precisione sono di piccole dimensioni, compatte nella struttura, facili da usare e adatte a vari ambienti di laboratorio;

4. L'attrezzatura per il rivestimento di precisione ha un design modulare e la camera a vuoto, il gruppo pompa e il sistema di controllo della potenza sono separati e possono essere combinati in modo flessibile in base alle esigenze effettive;

5. Le apparecchiature di rivestimento da laboratorio supportano molteplici metodi di controllo della potenza: un singolo alimentatore controlla più pistole bersaglio oppure più alimentatori controllano in modo indipendente le pistole bersaglio per soddisfare diversi requisiti di processo.

Parametri tecnici dell'attrezzatura per rivestimento di precisione:

Nome del prodotto	Apparecchiatura di rivestimento a sputtering magnetron
Modello del prodotto	VTC-800G
Parametri principali	1. Struttura della camera: design del coperchio superiore cilindrico, sistema di scarico posteriore. 2. Vuoto finale: 6,0×10-5 Pa. 3. Tasso di perdita del vuoto: ≤0,5 Pa entro 1 ora. 4. Tempo di scarico: circa 30 minuti dall'atmosfera a 5,0×10-3 Pa. 5. Configurazione del gruppo pompa per vuoto: pompa meccanica + pompa molecolare. 6. Parametri della fase campione: · Dimensioni: Ø205 · Intervallo di temperatura: temperatura ambiente ~ 500℃, precisione ±1℃ · Velocità di rotazione: 5~20 giri/min (regolabile). 7. Funzione di polarizzazione: opzionale (utilizzata per migliorare la qualità della pellicola). 8. Sistema di riempimento del gas: misuratore di portata di massa a doppio canale (argon/azoto ciascuno) 9. Angolo della testa del bersaglio: l'angolo tra la testa del bersaglio e l'asse centrale del piano del campione è di 34° 10. Numero di teste bersaglio: 2 di serie (ampliabili a 4 come optional). 11. Metodo di raffreddamento della pistola bersaglio: raffreddamento ad acqua 12. Specifiche del materiale target: diametro Ø3″, spessore 0,1~5 mm (a seconda del materiale target)
	13. Specifiche dell'apparecchiatura di rivestimento mediante sputtering magnetron: · Dimensioni complessive: 700 mm × 1093 mm × 1380 mm

Chi siamo:

La nostra azienda è attiva da molti anni nel settore della produzione cinematografica e vanta un'esperienza straordinaria. Inoltre, disponiamo di una varietà di attrezzature adatte a diversi materiali, per soddisfare le vostre diverse esigenze. Possiamo anche aiutarvi a testare l'efficacia delle attrezzature. Potete fornirci dei campioni e noi li prepareremo per farvi vedere l'effetto dei nostri prodotti in modo più intuitivo. Se i nostri prodotti vi soddisfano, potete acquistarli e svolgere il vostro lavoro in modo più agevole.