Rivestimento a sputtering magnetron ad alto vuoto
1. Il vuoto finale della macchina di rivestimento a sputtering con testa singola può raggiungere 8,0X10-5Pa.
2. Il rivestimento a sputtering con testa singola è dotato di 1 barca di riscaldamento per evaporazione, 2 stazioni del forno con sorgente a fascio (1 forno con sorgente a fascio è standard), 1 set di misuratori di portata (un set di gas argon) con finestra di osservazione in vetro φ150.
3. Dopo aver ricevuto la macchina per rivestimento a spruzzo con testa singola, forniremo anche servizi post-vendita completi, come la guida remota.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione del rivestimento mediante sputtering magnetron ad alto vuoto:
Il rivestimento per sputtering magnetron ad alto vuoto VTC-1HD-ZF2 è un'apparecchiatura di rivestimento multifunzionale ad alto vuoto, che include uno strumento per sputtering magnetron a singolo bersaglio. Il rivestimento per sputtering magnetron ad alto vuoto può essere utilizzato per preparare film ferroelettrici singoli o multistrato, film conduttivi, film in lega, film semiconduttori, film ceramici, film dielettrici, film ottici, film di ossido, film duri, film in politetrafluoroetilene, ecc.
Vantaggi del rivestimento mediante sputtering al plasma magnetron:
1. Il rivestimento a sputtering al plasma Magnetron è dotato di una barca di riscaldamento per deposizione di vapore, particolarmente adatta per la deposizione di vapore di pellicole metalliche sensibili all'ossigeno (come Ti, Al, Au, ecc.). C'è un deflettore girevole sopra la barca di riscaldamento del rivestimento a sputtering al plasma Magnetron, 2 stazioni del forno a sorgente di fascio (1 forno a sorgente di fascio è standard). 1 set di misuratori di portata (un set di gas argon) con finestra di osservazione in vetro φ150.
2. Campo di applicazione del rivestimento mediante sputtering al plasma Magnetron: preparazione di dispositivi di materiali perovskiti, materiali bidimensionali, celle solari fotovoltaiche, ecc.
3.3. Rivestitore a sputtering con testa singola, potenza assorbita: AC220V/50Hz. Potenza <3,5KW.
Parametri tecnici del rivestimento a sputtering al plasma magnetron:
| Nome del prodotto | VTC-1HD-ZF2 Rivestimento a sputtering magnetron ad alto vuoto |
| Modello del prodotto | Modello VTC-1HD-ZF2 |
| Parametri principali | 1. Camera a vuoto: φ324X330 Vuoto finale 8,0X10-5Pa (sistema pompa molecolare) Tasso di perdita: 2,0x10-10Pa.m3/s Il materiale è acciaio inossidabile 304 saldato, trattamento elettrochimico di lucidatura superficiale. La parte attiva è sigillata con un anello di tenuta in gomma, mentre la parte inattiva è sigillata con un anello di tenuta in rame. La trasmissione di potenza adotta un collegamento a giunto magnetico. La camera a vuoto è dotata di una posizione di controllo magnetico, un set di elettrodi di evaporazione (due) e 2 posizioni del forno con sorgente del fascio (standard 1 forno con sorgente del fascio). È riservato un set di misuratori di portata (un set di gas argon) con una finestra di osservazione in vetro φ150 e un'interfaccia flangiata C35. |
2. Testa bersaglio di sputtering: 2 pollici (φ50,8 mm) Vuoto di lavoro: 10Pa~0,2Pa. Tasso di utilizzo del materiale target: >35% (target standard in rame da 3 mm, vuoto sulla superficie del target 0,5 Pa) Potenza MAX: <240W (completamente raffreddato) Tensione di isolamento: >2000V (con alimentatore CC da 1 500W) | |
3. Resistenza all'evaporazione: Tensione di uscita dell'evaporazione: CA 0-8 V regolabile in modo continuo. Corrente di evaporazione limite 200A. Potenza di evaporazione limite <1,6KW. La temperatura è incontrollabile e non misurabile. | |
4. Forno a sorgente di fascio: Capacità del crogiolo: 3 CC. Temperatura di riscaldamento: da temperatura ambiente a 800°C. La temperatura di riscaldamento può essere misurata, regolata e controllata. Precisione del controllo della temperatura: ±0,5°C. Crogiolo al quarzo con deflettore e termocoppia di serie. Alimentazione: 500W, 36V. | |
5. Stadio campione: φ120. Controllo della temperatura: temperatura ambiente - 500°C. Velocità: 1-20 giri/min. Il piano portacampione può essere sollevato e abbassato manualmente, con una corsa massima regolabile di 50 mm. | |
6. Misuratore di spessore della pellicola EQ-TM106-1. 1) Alimentazione: DC 5V (±10%), corrente massima 400mA. 2) Risoluzione di frequenza: ±0,03Hz. 3) Risoluzione dello spessore del film: 0,0136Å (alluminio). 4) Precisione dello spessore del film: ±0,5%, a seconda delle condizioni di processo, in particolare posizione del sensore, sollecitazione del materiale, temperatura e densità. 5) Velocità di misurazione: 100 ms-1 s/tempo, regolabile. 6) Campo di misura: 500000Å (alluminio). 7) Cristallo sensore standard: 6 MHz. 8) Interfaccia computer: interfaccia seriale RS-232/485 (è possibile impostare la velocità in baud 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400, bit di dati: 8, bit di stop: 1, controllo: nessuno) 9) Uscita analogica: risoluzione a 8 bit, uscita a modulazione di larghezza di impulso PWM (collettore aperto o uscita interna a 5 V) 10) Ambiente di lavoro: temperatura 0-50℃, umidità 5%-85%RH, senza condensa. 11) Dimensioni: 90mm×50mm×18mm. | |
| 7. L'apparecchiatura è dotata di un refrigeratore (modello KJ5000) di serie. I clienti sono tenuti a fornire il proprio refrigeratore e acqua deionizzata o acqua purificata. | |
| 8. Potenza assorbita dell'intera macchina: AC220V/50Hz. Potenza <3,5KW. | |
9. Specifiche del prodotto: Dimensioni: circa 1300mm×660mm×1200mm. Peso: circa 160 kg. |
Chi siamo:
Abbiamo attrezzature di produzione avanzate e un rigoroso sistema di gestione della qualità per garantire che ogni prodotto soddisfi gli standard internazionali. Tra questi, il nostro rivestimento Sputtering con testa singola è particolarmente adatto per l'evaporazione di pellicole metalliche sensibili all'ossigeno. Ha prestazioni stabili ed è ampiamente utilizzato nel campo della ricerca sui materiali. Il nostro team di ricerca e sviluppo continua a innovare, combinando la domanda del mercato e il feedback dei clienti per fornire soluzioni più accurate ed efficienti. Con molti anni di esperienza nel settore e accumulo tecnico, non solo abbiamo stabilito una buona reputazione nel settore, ma abbiamo anche ottenuto un alto riconoscimento da molti clienti.
