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Sistema di deposizione laser sferico pulsato
Questo sistema è un'apparecchiatura di ricerca e sviluppo per il sistema di deposizione laser sferica pulsata (PLD). La tecnologia di deposizione laser pulsata è ampiamente utilizzata e può essere utilizzata per preparare film sottili di varie sostanze come metalli, semiconduttori, ossidi, nitruri, carburi, boruri, siliciuri, solfuri e fluoruri. Viene utilizzato anche per preparare alcune pellicole di materiali difficili da sintetizzare, come le pellicole di diamante e di nitruro cubico.
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