Pulitore al plasma con pompa a vuoto
La camera al plasma del piccolo pulitore al plasma PCE-6 è una camera al quarzo di Ø160 mm × 190 mm. La potenza RF utilizzata è di 3,0 MHz (1%) e la potenza di uscita è regolabile su tre livelli: 7,2 W, 10,2 W e 29,6 W. Questa macchina rimuove principalmente lo strato di ossido e i contaminanti dai substrati attraverso il plasma di aria, ossigeno o argon e altri gas, e può anche modificare le proprietà superficiali degli oggetti (come idrofilia e idrofobicità, ecc.).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione al prodotto
ILPulitore al plasma compatto PCE-6è dotato di una camera al plasma al quarzo che misura Ø160 mm × 190 mm ed è dotato di un alimentatore RF funzionante a 3,0 MHz (±1%), con tre livelli di potenza di uscita regolabili: 7,2 W, 10,2 W e 29,6 W.
Questo sistema utilizza il plasma generato da gas come aria, ossigeno o argon per rimuovere ossidi e contaminanti dai substrati, modificandone al contempo le proprietà superficiali (ad esempio, caratteristiche idrofile o idrofobiche). È ideale per la pulizia dei substrati e il trattamento di film sottili.
Il PCE-6 è compatto e salvaspazio, il che lo rende adatto agli ambienti di laboratorio. È dotato di una pompa per vuoto a doppia rotazione per l'evacuazione della camera, consentendo al contempo l'introduzione di gas come l'argon, rendendolo particolarmente adatto alla pulizia di materiali facilmente ossidabili.
Caratteristiche principali
1. Tramite i pulsanti e gli interruttori del pannello di controllo è possibile controllare e regolare la potenza RF, l'apertura e la chiusura della pompa del vuoto e il tempo di pulizia.
2. Tempo, potenza, grado di vuoto e altre informazioni vengono visualizzate su un gruppo di 4 tubi digitali.
3. Dotato di una valvola a tre vie, in grado di controllare con precisione il flusso d'aria in ingresso e di pulire la camera con aria atmosferica. L'interfaccia di ingresso è un'interfaccia per manicotto di carta da 6 mm.
4. Per eseguire esperimenti di incisione al plasma e di incenerimento viene scelto un alimentatore RF ad alta potenza.
TParametri tecnici
Nome del prodotto | Pulitore al plasma piccolo PCE-6 |
Modello del prodotto | PCE-6 |
Parametri principali (Specifiche) | 1. Alimentazione: AC220V 50/60Hz 2. Potenza di uscita: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Potenza della pompa a vuoto: <500W 4. Potenza totale: <600W 5. Frequenza RF: 3,0 MHz, la potenza può essere regolata manualmente su 3 livelli 6. Camera al plasma: camera al quarzo ad alta purezza di Ø160mm×190mm, sigillata con flangia piegata in alluminio con una finestra di osservazione di Ø45mm sulla flangia 7. Pompa per vuoto: 120 l/min, pompa per vuoto rotativa a doppio stadio a collegamento diretto 8. Vuoto massimo: 50mtorr 9. Introduzione del gas: per generare plasma possono essere introdotti vari gas, come N2, Ar, H2, O2, aria e gas misti (selezionati in base alle proprietà del materiale) per la pulizia e l'incisione |
Dimensioni e peso del prodotto | Dimensioni: 400 mm × 300 mm × 300 mm INotto:10,2 kg |
Accessori opzionali
| NO. | Nome | Categoria di funzione | Immagine |
| 1 | Barca/supporto in quarzo 2"-6" (per contenere il substrato) | Opzionale | - |
| 2 | Sistema di miscelazione di gas protonici o galleggianti a 2-4 canali | Opzionale | - |
Garanzia
Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)
Logistica
