Pulitore al plasma con pompa a vuoto
La camera al plasma del piccolo pulitore al plasma PCE-6 è una camera al quarzo di Ø160mm×190mm. La potenza RF utilizzata è 3,0 MHz (1%) e la potenza in uscita è regolabile su tre livelli: 7,2 W, 10,2 W e 29,6 W. Questa macchina rimuove principalmente lo strato di ossido e i contaminanti sui substrati attraverso il plasma di aria, ossigeno o argon e altri gas e può anche modificare le proprietà della superficie degli oggetti (come idrofilicità e idrofobicità, ecc.).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Caratteristiche principali
1. Attraverso i pulsanti e gli interruttori del pannello di controllo, è possibile controllare e regolare la potenza RF, l'apertura e la chiusura della pompa del vuoto e il tempo di pulizia.
2. Tempo, potenza, grado di vuoto e altre informazioni vengono visualizzate su un gruppo di 4 tubi digitali.
3. Dotato di una valvola a tre vie, che può controllare con precisione il flusso d'aria in aspirazione e pulire la camera con aria atmosferica. L'interfaccia di aspirazione è un'interfaccia per manicotto della scheda da 6 mm.
4. Viene scelta un'apparecchiatura di alimentazione RF di grande potenza per eseguire esperimenti di incisione e incenerimento al plasma.
TParametri tecnici
nome del prodotto | Pulitore al plasma PCE-6 piccolo |
Modello di prodotto | PCE-6 |
Parametri principali (Specifica) | 1. Alimentazione: CA 220 V 50/60 Hz 2. Potenza in uscita: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Potenza della pompa a vuoto: <500 W 4. Potenza totale: <600 W 5. Frequenza RF: 3,0 MHz, la potenza può essere regolata manualmente su 3 livelli 6. Camera al plasma: camera al quarzo ad alta purezza di Ø160mm×190mm, sigillata con flangia piegata in alluminio con una finestra di osservazione di Ø45mm sulla flangia 7. Pompa per vuoto: pompa per vuoto rotativa a doppio stadio da 120 l/min, con collegamento diretto 8. Vuoto finale: 50 mtorr 9. Introduzione del gas: per generare plasma possono essere introdotti vari gas, come N2, Ar, H2, O2, aria e gas misti (selezionati in base alle proprietà del materiale) per la pulizia e l'incisione |
Dimensioni e peso del prodotto | Dimensioni: 400 mm×300 mm×300 mm INotto:10,2 kg
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accessori opzionali | 1.2"-6"Barca/Trasportatore al quarzo (per sostenere il substrato) 2. Sistema di miscelazione protoni o gas float a 2-4 canali |
Garanzia
Un anno limitato con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)
la logistica
