Pulitore al plasma con pompa a vuoto
brand Shenyang Kejing
Prodotti di origine Shenyang, Cina
Il Tempo di consegna 10 giorni lavorativi
La capacità di approvvigionamento 50 set
La camera al plasma del piccolo pulitore al plasma PCE-6 è una camera al quarzo di Ø160mm×190mm. La potenza RF utilizzata è 3,0 MHz (1%) e la potenza in uscita è regolabile su tre livelli: 7,2 W, 10,2 W e 29,6 W. Questa macchina rimuove principalmente lo strato di ossido e i contaminanti sui substrati attraverso il plasma di aria, ossigeno o argon e altri gas e può anche modificare le proprietà della superficie degli oggetti (come idrofilicità e idrofobicità, ecc.).
Caratteristiche principali
1. Attraverso i pulsanti e gli interruttori del pannello di controllo, è possibile controllare e regolare la potenza RF, l'apertura e la chiusura della pompa del vuoto e il tempo di pulizia.
2. Tempo, potenza, grado di vuoto e altre informazioni vengono visualizzate su un gruppo di 4 tubi digitali.
3. Dotato di una valvola a tre vie, che può controllare con precisione il flusso d'aria in aspirazione e pulire la camera con aria atmosferica. L'interfaccia di aspirazione è un'interfaccia per manicotto della scheda da 6 mm.
4. Viene scelta un'apparecchiatura di alimentazione RF di grande potenza per eseguire esperimenti di incisione e incenerimento al plasma.
TParametri tecnici
nome del prodotto | Pulitore al plasma PCE-6 piccolo |
Modello di prodotto | PCE-6 |
Parametri principali (Specifica) | 1. Alimentazione: CA 220 V 50/60 Hz 2. Potenza in uscita: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Potenza della pompa a vuoto: <500 W 4. Potenza totale: <600 W 5. Frequenza RF: 3,0 MHz, la potenza può essere regolata manualmente su 3 livelli 6. Camera al plasma: camera al quarzo ad alta purezza di Ø160mm×190mm, sigillata con flangia piegata in alluminio con una finestra di osservazione di Ø45mm sulla flangia 7. Pompa per vuoto: pompa per vuoto rotativa a doppio stadio da 120 l/min, con collegamento diretto 8. Vuoto finale: 50 mtorr 9. Introduzione del gas: per generare plasma possono essere introdotti vari gas, come N2, Ar, H2, O2, aria e gas misti (selezionati in base alle proprietà del materiale) per la pulizia e l'incisione |
Dimensioni e peso del prodotto | Dimensioni: 400 mm×300 mm×300 mm INotto:10,2 kg
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accessori opzionali | 1.2"-6"Barca/Trasportatore al quarzo (per sostenere il substrato) 2. Sistema di miscelazione protoni o gas float a 2-4 canali |
Garanzia
Un anno limitato con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)
la logistica
