Spalmatrice centrifuga ad alta velocità con coperchio riscaldato a 200ºC
Il sistema di rivestimento rotante sotto vuoto VTC-100PA-II è adatto per processi di semiconduttori, cristalli, dischi ottici, produzione di lastre e rivestimenti superficiali, ecc. Può essere utilizzato con soluzioni di rivestimento fortemente acide e fortemente alcaline. L'apparecchiatura è dotata di due mandrini a vuoto di diverse dimensioni (standard) in base alle dimensioni del campione. L'apparecchiatura può memorizzare 12 set di programmi, ognuno dei quali contiene 6 fasi di esecuzione.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione al prodotto
La macchina per rivestimento rotante sotto vuoto riscaldato VTC-100PA-II è progettata per processi di rivestimento superficiale in semiconduttori, cristalli, dischi ottici, fotolitografia e applicazioni correlate. È in grado di preparare rivestimenti utilizzando soluzioni sia fortemente acide che alcaline.
Il sistema è dotato di due mandrini a vuoto di diverse dimensioni, consentendo agli utenti di selezionare il mandrino appropriato in base alle dimensioni del campione. Durante il funzionamento, il campione viene fissato saldamente al supporto tramite aspirazione a vuoto. Il sistema di rivestimento supporta fino a 12 ricette programmabili, ciascuna delle quali contiene 6 fasi sequenziali. In ogni fase, la velocità di rotazione può essere impostata in modo indipendente, consentendo al sistema di accelerare gradualmente fino alla velocità massima. Ciò garantisce una formazione uniforme del film sottile su tutta la superficie del campione, riducendo al minimo lo spreco di materiale e migliorando l'efficienza.
Il termoformatore rotante sotto vuoto riscaldato VTC-100PA-II è caratterizzato da un funzionamento intuitivo, una facile pulizia e un design compatto, che lo rendono la scelta ideale per i laboratori universitari e gli istituti di ricerca impegnati nella preparazione di film sottili.
Caratteristiche principali
1. Il campione viene fissato mediante adsorbimento sotto vuoto, un metodo di facile utilizzo.
2. Il grado di vuoto può raggiungere -0,08 MPa.
3. I campioni possono essere facilmente centrati utilizzando lo strumento di posizionamento per ridurre le vibrazioni o le fuoriuscite causate dal disallineamento.
4. È possibile utilizzare mandrini diversi in base alle specifiche del campione e la sostituzione è comoda e semplice.
5. È stato adottato un motore CC brushless da 24 V che presenta i vantaggi di elevata affidabilità, forte adattabilità, semplice riparazione e manutenzione, basso rumore, piccole vibrazioni, funzionamento stabile, avvio rapido e stabile, funzionamento stabile dopo l'accelerazione, per garantire la consistenza e l'uniformità dello spessore del rivestimento.
6. La pompa per vuoto a barre parallele senza olio presenta i vantaggi di dimensioni ridotte, struttura semplice, facile utilizzo, manutenzione conveniente e nessun inquinamento ambientale.
7. La camera è realizzata in materiale polipropilene con una maggiore durata utile per migliorare le capacità di resistenza alla corrosione chimica e un'eccellente resistenza alle crepe da stress, mentre il corpo della macchina adotta una struttura in alluminio pressofuso, resistente e leggera.
8. Il rivestimento può essere effettuato in atmosfera di gas inerte (come Ar, N2).
9. Sistema operativo inglese
10. Ha la funzione di protezione contro l'apertura del coperchio. Quando il coperchio superiore viene aperto durante il processo di rivestimento o al termine dello stesso, la macchina decelera immediatamente e rapidamente fino all'arresto.
11. L'interfaccia di controllo adotta un touch screen più un sistema di controllo a computer a scheda singola, e il display numerico è più intuitivo e affidabile.
TParametri tecnici
Nome del prodotto | VTC-100PA-II Vacuum Spin Coater con funzione di riscaldamento | |
Modello del prodotto | VTC-100PA-II | |
Condizioni di installazione | 1. Temperatura e umidità: 10–85% RH (a 25 °C, senza condensa); temperatura di esercizio: 0–45 °C. 2. Ambiente: privo di forti fonti di vibrazioni e gas corrosivi. 3. Approvvigionamento idrico: dotato di scarico delle acque reflue. 4. Alimentazione: monofase AC220V, 50Hz, 10A. 5. Alimentazione del gas: pressione negativa del vuoto (pompa per vuoto) con velocità di pompaggio ≥70 L/min. Il sistema può anche essere spurgato con gas inerti protettivi come Ar o N₂. 6. Banco da lavoro: dimensioni consigliate 800 mm × 600 mm × 700 mm, con capacità di carico ≥50 kg (preferibilmente banco in cemento pieno). 7. Ventilazione: Nessun requisito particolare. | |
Parametri principali (specifica) | 1. Interfaccia di alimentazione: Unità principale: AC220V 50Hz 10A; Riscaldamento: AC220V 50Hz 10A 2. Potenza totale: ≤1150W (esclusa la pompa a vuoto esterna) 3. Camera di rivestimento (materiale): PTFE 4. Portacampioni (mandrino a vuoto): mandrini in PTFE Φ19mm e Φ60mm, uno ciascuno 5. Modalità di funzionamento: fino a 12 programmi memorizzabili; ogni programma contiene 6 fasi di funzionamento 6. Velocità di centrifuga: 500 giri/min – 10.000 giri/min (effettivi) 7. Velocità di accelerazione/decelerazione: intervallo regolabile per fase: 100 giri/min – 2000 giri/min 8. Tempo di centrifuga: intervallo regolabile per fase: 0 – 60 s 9. Stabilità della velocità: ±1% 10. Sistema di controllo: microcontrollore PCB, controllo tramite tastiera, display LCD LMC 11. Metodo di riscaldamento: tubo di riscaldamento in fibra di carbonio con sistema di controllo della temperatura indipendente, non collegato al controllo dell'unità principale 12. Temperatura di riscaldamento: Temperatura ambiente – 200℃ 13. Potenza di riscaldamento: AC220V 1000W 14. Precisione del controllo della temperatura: ±2℃ | |
15. Specifiche del prodotto: · Dimensioni: 450 mm × 340 mm × 280 mm · Peso: 20 kg |
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SAccessori standard
NO. | nome | quantità | immagine |
1 | Mandrino a vuoto (incluso O-ring) (Ø19mm EØ60mm) | 2 pezzi | |
2 | Posizionatore/localizzatore centrale (inclusi 4 perni di posizionamento) | 1 pz |
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3 | Iniettore/siringa epossidica (20 ml) | 1 pz | |
4 | Supporto per iniettore/siringa | 1 pz | - |
5 | Pompa per vuoto senza olio | 1 pz | |
6 | Tubo di gomma (compreso il morsetto) | 1 pz | - |
ILAccessori opzionali
NO. | nome | tipo funzionale | immagine |
1 | Mandrini a vuoto di altre specifiche | (opzionale) | |
2 | Pipetta (prodotta in Cina) | (opzionale) | |
3 | Pipetta (importata) | (opzionale) |
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Garanzia
Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)
Logistica
