Spalmatrice centrifuga ad alta velocità con coperchio riscaldato a 100ºC

Spalmatrice centrifuga ad alta velocità con coperchio riscaldato a 100ºC

Il sistema di rivestimento rotante sotto vuoto VTC-100PA-I è adatto per processi di semiconduttori, cristalli, dischi ottici, produzione di lastre e rivestimenti superficiali, ecc. Può essere utilizzato con soluzioni di rivestimento fortemente acide e fortemente alcaline. L'apparecchiatura è dotata di due mandrini a vuoto di diverse dimensioni (standard) in base alle dimensioni del campione. L'apparecchiatura può memorizzare 12 set di programmi, ognuno dei quali contiene 6 fasi di esecuzione.

brand: Shenyang Kejing
Prodotti di origine: Shenyang, Cina
Il Tempo di consegna: 10 giorni lavorativi
La capacità di approvvigionamento: 50 set

informazione

Introduzione al prodotto
Il sistema di rivestimento rotante sotto vuoto VTC-100PA-I è progettato per processi di rivestimento superficiale di semiconduttori, cristalli, dischi ottici e fotolitografia. È adatto alla preparazione di rivestimenti utilizzando soluzioni fortemente acide o alcaline. Il sistema è dotato di serie di due mandrini sotto vuoto di diverse dimensioni, consentendo agli utenti di scegliere il mandrino più adatto in base alle dimensioni del campione.

Durante il funzionamento, il campione viene fissato saldamente sul portacampione tramite un mandrino a vuoto. Il VTC-100PA-I può memorizzare fino a 12 programmi, ciascuno dei quali è composto da 6 fasi sequenziali. La velocità di rotazione varia a seconda delle diverse fasi, consentendo al dispositivo di raggiungere gradualmente la velocità massima. Ciò garantisce una formazione uniforme del film sottile sulla superficie del campione, riduce al minimo lo spreco di materiale e migliora l'efficienza.

Il VTC-100PA-I è caratterizzato da semplicità d'uso, facilità di pulizia e design compatto. Trova ampia applicazione nei laboratori di università e istituti di ricerca per i processi di deposizione di film sottili.

Caratteristiche principali

1. Il campione viene fissato mediante adsorbimento sotto vuoto, un metodo di facile utilizzo.

2. Il grado di vuoto può raggiungere -0,08 MPa.

3. I campioni possono essere facilmente centrati utilizzando lo strumento di posizionamento per ridurre le vibrazioni o le fuoriuscite causate dal disallineamento.

4. È possibile utilizzare mandrini diversi in base alle specifiche del campione e la sostituzione è comoda e semplice.

5. È stato adottato un motore CC brushless da 24 V che presenta i vantaggi di elevata affidabilità, forte adattabilità, semplice riparazione e manutenzione, basso rumore, piccole vibrazioni, funzionamento stabile, avvio rapido e stabile, funzionamento stabile dopo l'accelerazione, per garantire la consistenza e l'uniformità dello spessore del rivestimento.

6. La pompa per vuoto a barre parallele senza olio presenta i vantaggi di dimensioni ridotte, struttura semplice, facile utilizzo, manutenzione conveniente e nessun inquinamento ambientale.

7. La camera è realizzata in materiale polipropilene con una maggiore durata utile per migliorare le capacità di resistenza alla corrosione chimica e un'eccellente resistenza alle crepe da stress, mentre il corpo della macchina adotta una struttura in alluminio pressofuso, resistente e leggera.

8. Il rivestimento può essere effettuato in atmosfera di gas inerte (come Ar, N2).

9. Sistema operativo inglese

10. Ha la funzione di protezione contro l'apertura del coperchio. Quando il coperchio superiore viene aperto durante il processo di rivestimento o al termine dello stesso, la macchina decelera immediatamente e rapidamente fino all'arresto.

11. L'interfaccia di controllo adotta un touch screen più un sistema di controllo a computer a scheda singola, e il display numerico è più intuitivo e affidabile.

TParametri tecnici

Nome del prodotto	VTC-100PA-I Vacuum Spin Coater
Modello del prodotto	VTC-100PA-I
Condizioni di installazione	1. Temperatura e umidità: 10–85% RH (a 25°C, senza condensa); Temperatura di esercizio: 0–45°C. 2. Ambiente: privo di forti fonti di vibrazioni e gas corrosivi. 3. Acqua: Dotato di scarico di scarico. 4. Alimentazione: monofase AC220V 50Hz 10A. 5. Gas: Vuoto (pressione negativa) con una velocità di pompaggio ≥70 L/min; il sistema può essere collegato anche a gas inerti protettivi (ad es. Ar, N₂). 6. Banco da lavoro: dimensioni consigliate 800 mm × 600 mm × 700 mm, capacità di carico ≥50 kg (preferibilmente tavolo in cemento pieno). 7. Ventilazione: Nessun requisito particolare.
Parametri principali (Specifiche)	1. Interfaccia di alimentazione: · Unità principale: AC220V 50Hz 10A · Riscaldamento: AC220V 50Hz 10A 2. Consumo energetico totale: ≤1150 W (esclusa la pompa a vuoto esterna) 3. Camera di rivestimento (materiale): polipropilene 4. Supporto del campione (mandrino a vuoto): mandrini a vuoto in PTFE, Ø19 mm e Ø60 mm (uno ciascuno) 5. Modalità di funzionamento: fino a 12 ricette programmabili; ogni ricetta include 6 fasi sequenziali 6. Gamma di velocità di centrifuga: 500–10.000 giri/min (effettivi) 7. Velocità di accelerazione/decelerazione: regolabile da 100 giri/min a 2000 giri/min per fase 8. Tempo di rivestimento: 0–60 secondi per fase 9. Stabilità della velocità: ±1% 10. Sistema di controllo: microcontrollore PCB con controllo tramite tastiera e display LCD LMC 11. Metodo di riscaldamento: sistema di tubi di riscaldamento in fibra di carbonio indipendenti (separati dal controllo dell'unità principale) 12. Intervallo di temperatura di riscaldamento: da temperatura ambiente a 100°C 13. Potenza di riscaldamento: AC220V, 1000W 14. Precisione del controllo della temperatura: ±2°C
	15. Specifiche del prodotto: · Dimensioni: 450mm×340mm×280mm · Peso: 20 kg

SAccessori standard

NO.	nome	quantità	immagine
1	Mandrino a vuoto (incluso O-ring) (Ø19mm EØ60mm)	2 pezzi
2	Posizionatore/localizzatore centrale (inclusi 4 perni di posizionamento)	1 pz
3	Iniettore/siringa epossidica (20 ml)	1 pz
4	Supporto per iniettore/siringa	1 pz	-
5	Pompa per vuoto senza olio	1 pz
6	Tubo di gomma (compreso il morsetto)	1 pz	-