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Spalmatrice centrifuga ad alta velocità (10.000 giri/min e 5" max) con copertura UV

La macchina per il rivestimento a centrifuga UV VTC-100PA-UV è adatta per la lavorazione di semiconduttori, cristalli, dischi ottici, produzione di lastre e rivestimenti superficiali, ecc. Il coperchio superiore adotta una sorgente di luce UV ed è particolarmente adatta per materiali sensibili alla luce UV, che può solidificare rapidamente il film rivestito. Inoltre, la lampada UV ha anche una funzione di polimerizzazione, che può polimerizzare il monomero in un film polimerico.

  • Shenyang Kejing
  • Shenyang, Cina
  • 10 giorni lavorativi
  • 50 set
  • informazione

Introduzione al prodotto

Il sistema di rivestimento a rotazione VTC-100PA-UV (noto anche come rivestimento fotoresistente, rivestimento a rotazione o sistema di rivestimento a rotazione) è progettato per processi quali la fabbricazione di semiconduttori, cristalli, dischi ottici, litografia e rivestimento superficiale.

La camera è realizzata in polipropilene, che offre un'eccellente resistenza alla corrosione e una lunga durata, ed è adatta per applicazioni di rivestimento che coinvolgono soluzioni fortemente acide e fortemente alcaline. Il coperchio superiore è dotato di una funzione di irradiazione con lampada UV, che lo rende particolarmente adatto per i resist sensibili ai raggi UV. Consente una rapida polimerizzazione dei resist rivestiti e supporta anche la polimerizzazione, convertendo i monomeri in film polimerici.

Al centro del coperchio superiore si trova una porta di iniezione del liquido, dotata di un tappo; quando è richiesto un ambiente sigillato della camera, il tappo deve essere inserito. La camera è inoltre dotata di un ingresso per il gas, che consente l'immissione di gas protettivo durante il processo di rivestimento per centrifugazione.

I campioni vengono fissati tramite adsorbimento sotto vuoto, garantendo facilità d'uso e praticità di carico/scarico. Grazie all'apposito strumento di centraggio, i campioni possono essere posizionati con precisione al centro del mandrino, riducendo le vibrazioni eccentriche e prevenendo la rottura del wafer. È possibile selezionare diversi mandrini in base alle dimensioni del campione e la sostituzione è semplice e pratica.

Il sistema è alimentato da un motore DC brushless di precisione, che garantisce un avvio rapido, una velocità stabile e assicura la costanza e l'uniformità dello spessore del rivestimento.



Caratteristiche principali

1. Il campione viene fissato mediante adsorbimento sotto vuoto, un metodo facile da usare e comodo per prelevare e posizionare i campioni, che possono essere personalizzati secondo necessità.

2. Il coperchio superiore adotta una sorgente di luce UV, la cui intensità può essere regolata entro un certo intervallo.

3. Il foro di iniezione si trova al centro del coperchio superiore ed è dotato di un tappo di gomma, che viene applicato quando è necessario un ambiente sigillato per la camera.

4. Il foro di ingresso del gas nella camera viene utilizzato per il collegamento al gas protettivo.

5. Il motore e il sistema di controllo della luce UV sono controllati in modo indipendente. Il sistema di regolazione della velocità del motore è controllato da un computer a scheda singola e da uno schermo LCD, il cui display numerico è più intuitivo e affidabile. La luce UV è controllata da un controller PLC con elevata protezione anti-interferenza.

6. La velocità di rivestimento di questa macchina è compresa tra 500 e 1000 giri/min. È possibile memorizzare 12 gruppi di programmi, ogni gruppo di programmi contiene 6 fasi operative e i parametri operativi di ciascuna fase possono essere impostati in modo indipendente per aumentare lentamente la velocità fino al limite, il che favorisce la formazione di una pellicola uniforme sulla superficie del campione e non comporta troppi sprechi.

7. La macchina per il rivestimento a centrifuga sotto vuoto UV si avvia rapidamente e ha una velocità di rotazione stabile, che può garantire l'uniformità e la costanza dello spessore della pellicola.

8. Nella struttura di installazione vengono adottate misure di assorbimento degli urti per ridurre il rumore durante il funzionamento.

9. La camera è realizzata in materiale PP con una maggiore durata utile per migliorare le capacità di resistenza alla corrosione chimica e un'eccellente resistenza alle crepe da stress, mentre il corpo della macchina adotta una struttura in alluminio pressofuso, resistente e leggera.



TParametri tecnici

Nome del prodotto

VTC-100PA-UV UV Spin Coater

Modello del prodotto

VTC-100PA-UV

Condizioni di installazione

1. Temperatura e umidità: 10-85% RH (a 25℃ senza condensa) Temperatura: 0-45℃.

2. Non vi siano forti fonti di vibrazioni o gas corrosivi attorno all'apparecchiatura.

3. Acqua: non necessaria.

4. Elettricità: Monofase: AC220V 50Hz 10A.

5. Gas: pressione negativa del vuoto (pompa per vuoto). La portata d'aria non è inferiore a 70 l/min (l'apparecchiatura può far passare gas inerte protettivo).

6. Banco da lavoro: si consiglia di avere dimensioni 800 mm × 600mm×700 mm e sopportare un carico superiore a 50 kg (è preferibile una piattaforma in cemento solido).

7. Dispositivo di ventilazione: Nessun requisito speciale.

I parametri principali

1. Interfaccia di alimentazione: presa di corrente con assicurazione: AC220V 50Hz, la specifica del tubo di assicurazione è 10A, φ5×20mm (questo dispositivo supporta la personalizzazione del prodotto AC110V 50/60Hz).

2. Potenza totale: ≤180W (esclusa la pompa a vuoto esterna).

3. Rivestimento della cavità ospite (materiale): polipropilene.

4. Vassoio portacampioni (ventosa): ventosa in polipropilene da Φ19mm, Φ60mm ciascuna.

5. Modalità operativa: è possibile memorizzare 12 set di programmi, ogni set di programmi contiene 6 fasi operative.

6. Velocità di rivestimento: 500-10000 giri/min è efficace.

7. Velocità di accelerazione e decelerazione: l'intervallo di impostazione di ciascuna velocità di accelerazione e decelerazione è compreso tra 100 giri/min e 2000 giri/min.

8. Tempo di rivestimento: ogni intervallo di tempo: 0-60 s.

9. Stabilità della velocità: ±1%.

10. Modalità di controllo host: microcomputer PCB a chip singolo con controllo chiave e display LCD LMC.

11. Metodo di polimerizzazione: 16 perle di luce viola LED.

12. Tempo di polimerizzazione: intervallo di impostazione del tempo della luce viola: 1-800 s.

13. Potenza di polimerizzazione: intervallo di potenza della luce viola: 5-30 W regolabile.

14. Metodo di controllo della polimerizzazione: touch screen (controllo indipendente del sistema di luce viola, non correlato al controllo host).

15. Specifiche del prodotto

       · Dimensioni: 450 mm × 280 mm × 340 mm

       · Peso: 18 kg

spin coater


Accessori standard

NO.NomeQuantitàCollegamento all'immagine
1Ventosa a vuoto (con O-ring) (Ø19mm e Ø60mm)2Spin Coating SystemPrecision Spin Coater
2Localizzatore del centro1spin coater
3Pompa per vuoto senza olio1Spin Coating System


Accessori opzionali

NO.NomeCategoria funzionaleCollegamento all'immagine
1
Altre dimensioni di ventose(Opzionale)Precision Spin Coater
2Pistola per pipette domestica(Opzionale)spin coater
3Pipetta importata(Opzionale)Spin Coating System



Garanzia

    Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)



Logistica

Precision Spin Coater


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