Macchina di rivestimento rotante anticorrosione (6.000 giri/min e wafer da 6

Macchina di rivestimento rotante anticorrosione (6.000 giri/min e wafer da 6" max.)

Il sistema di rivestimento rotante sotto vuoto VTC-200P è adatto per processi di rivestimento di semiconduttori, cristalli, dischi ottici, lastre e superfici, ecc. L'apparecchiatura può memorizzare 12 set di programmi, ognuno dei quali contiene 6 fasi di esecuzione. Il coperchio superiore della camera può riscaldare il campione (funzione opzionale), il che è vantaggioso per il processo di rivestimento di materiali a film sottile ad alta viscosità.

brand: Shenyang Kejing
Prodotti di origine: Shenyang, Cina
Il Tempo di consegna: 10 giorni lavorativi
La capacità di approvvigionamento: 50 set

informazione

Introduzione al prodotto

Il sistema di rivestimento rotante sotto vuoto VTC-200P è progettato per processi di rivestimento superficiale in semiconduttori, cristalli, dischi ottici, litografia e applicazioni correlate. È adatto alla preparazione di rivestimenti utilizzando soluzioni fortemente acide o fortemente alcaline.

La camera stessa non può essere evacuata; durante il funzionamento, il campione viene invece fissato al supporto del substrato tramite adsorbimento a vuoto. Il sistema può memorizzare fino a 12 programmi, ciascuno contenente 6 fasi sequenziali. È possibile impostare diverse velocità di rotazione per ogni fase, consentendo al coatinger di accelerare gradualmente fino alla velocità massima. Ciò garantisce la formazione uniforme di un film sottile sulla superficie del campione, riducendo al minimo lo spreco di materiale.

Il coperchio superiore della camera può essere opzionalmente dotato di una funzione di riscaldamento, che facilita il rivestimento di materiali in pellicola altamente viscosi.

Grazie ai suoi vantaggi quali facilità d'uso, pulizia pratica e design compatto, il VTC-200P Vacuum Spin Coater è ampiamente utilizzato nei laboratori di università e istituti di ricerca per la preparazione di film sottili.

Caratteristiche principali

1. L'apparecchiatura può memorizzare 12 set di programmi, ognuno dei quali contiene 6 fasi di esecuzione. Intervallo di impostazione della velocità di accelerazione e decelerazione per ogni fase: 100 giri/min-20 ...

2. Il campione viene fissato mediante adsorbimento sotto vuoto, un metodo semplice da utilizzare.

3. Il grado di vuoto può raggiungere -0,08 MPa.

4. I campioni possono essere facilmente centrati utilizzando lo strumento di posizionamento per ridurre le vibrazioni o le fuoriuscite causate dal disallineamento.

5. È possibile utilizzare mandrini diversi in base alle specifiche del campione e la sostituzione è comoda e semplice.

6. È stato adottato un motore CC brushless da 24 V che presenta i vantaggi di elevata affidabilità, forte adattabilità, semplice riparazione e manutenzione, bassa rumorosità, piccole vibrazioni, funzionamento stabile, avvio rapido e stabile, funzionamento stabile dopo l'accelerazione, per garantire la consistenza e l'uniformità dello spessore del rivestimento.

7. Questa macchina può essere utilizzata in una glove box, ma la parte di controllo e la pompa del vuoto devono essere posizionate all'esterno della scatola.

8. Il rivestimento può essere effettuato in atmosfera di gas inerte (come Ar, N2).

9. La pompa per vuoto a barre parallele senza olio presenta i vantaggi di dimensioni ridotte, struttura semplice, facile utilizzo, manutenzione conveniente e nessun inquinamento ambientale.

10. La camera è realizzata in materiale PP con una maggiore durata utile per migliorare le capacità di resistenza alla corrosione chimica e un'eccellente resistenza alle crepe da stress, mentre il corpo della macchina adotta una struttura in alluminio pressofuso, resistente e leggera.

11. Sistema operativo inglese

12. Ha la funzione di protezione contro l'apertura del coperchio. Quando il coperchio superiore viene aperto durante il processo di rivestimento o al termine dello stesso, la macchina decelera immediatamente e rapidamente fino all'arresto.

13. Il controller adotta un'unica scatola di controllo con display numerico LCD, più intuitivo e affidabile.

TParametri tecnici

Nome del prodotto	VTC-200P Vacuum Spin Coater
Modello del prodotto	VTC-200P
Condizioni di installazione	1. Temperatura e umidità: 10–85% RH (a 25℃, senza condensa); Temperatura: 0–45℃. 2. Ambiente: nessuna fonte di forti vibrazioni o gas corrosivi in prossimità dell'apparecchiatura. 3. Acqua: l'apparecchiatura è dotata di uno scarico di scarico. 4. Alimentazione: monofase AC220V, 50Hz10A. 5. Alimentazione dell'aria: pressione negativa del vuoto (pompa per vuoto) con una velocità di pompaggio ≥ 70 L/min. Il sistema può anche essere collegato a gas inerte protettivo. 6. Tavolo da lavoro: dimensioni consigliate 800 mm × 600 mm × 700 mm, capacità di carico ≥ 100 kg (è preferibile un tavolo in cemento solido). 7. Ventilazione: Nessun requisito particolare.
Parametri principali (Specifiche)	1. Interfaccia di alimentazione: presa di alimentazione con fusibile: AC220V, 50Hz; specifiche del fusibile: 10A, φ5×20mm (disponibile personalizzazione AC110V 50/60Hz). 2. Potenza totale: ≤150W (esclusa la pompa a vuoto esterna). 3. Camera principale (materiale): polipropilene. 4. Supporto del substrato (mandrino a vuoto): mandrino a vuoto in polipropilene Ø100 mm ×1 (realizzato in PTFE se dotato di funzione di riscaldamento). 5. Modalità operativa: in grado di memorizzare 12 programmi, ciascuno con 6 fasi sequenziali. 6. Velocità di centrifuga: 500 giri/min – 6000 giri/min. 7. Velocità di accelerazione/decelerazione: intervallo regolabile per fase: 100 giri/min – 2000 giri/min. 8. Tempo di rivestimento: intervallo regolabile per fase: 0 – 60 s. 9. Stabilità della velocità: ±1%. 10. Sistema di controllo: microcontrollore PCB con funzionamento tramite tastiera e display LCD LMC. 11. Metodo di riscaldamento: non incluso nella configurazione standard (funzione di riscaldamento opzionale disponibile, con un sistema di controllo della temperatura indipendente, non integrato con il controller principale). 12. Temperatura di riscaldamento: intervallo di temperatura personalizzabile, RT – 100℃ (limite superiore). 13. Potenza di riscaldamento: AC220V, 1000W. 14. Precisione del controllo della temperatura: ±2℃.
	15. Specifiche del prodotto: · Dimensione: · Unità principale:φ250mm×360mm · Scatola di controllo: 330 mm × 380 mm × 150 mm · Peso: 15 kg

SAccessori standard

NO.	nome	quantità	immagine
1	Mandrino a vuoto (φ100mm)	1 pz
2	O-ring	1 pz	-
3	Posizionatore/localizzatore centrale (inclusi 4 perni di posizionamento)	1 pz
4	Iniettore/siringa epossidica (20 ml)	1 pz
5	Supporto per iniettore/siringa	1 pz	-
6	Pompa per vuoto senza olio	1 pz