Strumento di sputtering al plasma a tre bersagli

1. Il rivestimento mediante sputtering al plasma a tre target è dotato di un misuratore del vuoto e di un misuratore di corrente di sputtering, in grado di monitorare il funzionamento dell'apparecchiatura in qualsiasi momento per ottenere un effetto di rivestimento stabile e affidabile. 2. Il rivestimento mediante sputtering al plasma a tre target può regolare la pressione della camera a vuoto, la corrente di ionizzazione e selezionare il gas di ionizzazione appropriato tramite il regolatore della corrente di sputtering e la microvalvola dell'aria del vuoto per ottimizzare l'effetto del rivestimento. 3. La guarnizione in gomma appositamente progettata sul bordo della campana di vetro non causerà la rottura della campana di vetro dopo un uso prolungato, migliorando così la durata del rivestimento a sputtering al plasma Three Target.