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Rivestimento a spruzzo-spin ad ultrasuoni (300-3000 giri/min, wafer massimo da 12")
Il rivestimento a spruzzo/spruzzatore di colla a ultrasuoni VTC-300USS può controllare con precisione il rapporto stechiometrico della soluzione, la velocità di spruzzatura delle particelle di nebbia, la dimensione delle particelle di nebbia e altri parametri. Il diametro dei substrati assorbibili (del dispositivo di rivestimento/spruzzatore di colla a rotazione ultrasonica VTC-300USS) può arrivare fino a 12" (300 mm).
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