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L'ascesa della tecnologia di lucidatura chimico-meccanica

Con il rapido sviluppo dell'industria dei semiconduttori, le dimensioni dei dispositivi elettronici continuano a ridursi e i requisiti per la planarità della superficie del wafer stanno diventando più rigorosi. Soprattutto nell'attuale processo di produzione di circuiti integrati, la superficie del wafer deve essere appiattita a livello nanometrico e la tradizionale tecnologia di appiattimento locale non è più in grado di soddisfare questa richiesta. Tuttavia, la nostra macchina per lucidatura chimico-meccanica UMIPOL-1203 può attualmente ottenere un appiattimento globale.

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