Spalmatrice centrifuga sottovuoto e controllata in atmosfera
La macchina per il rivestimento a centrifuga sotto vuoto VTC-200PV è adatta per la lavorazione di semiconduttori, cristalli, dischi ottici, produzione di lastre e rivestimenti superficiali, ecc. La camera della macchina per il rivestimento a centrifuga sotto vuoto VTC-200PV può essere sottoposta a vuoto per rivestire il campione in condizioni di vuoto completo, il che è adatto per materiali in pellicola che si ossidano e si deteriorano facilmente in aria. Una pinza viene utilizzata per fissare il campione quando la camera viene sottoposta a vuoto. L'apparecchiatura può memorizzare 12 set di programmi, ognuno dei quali contiene 6 fasi di esecuzione.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione al prodotto
Il sistema di rivestimento rotante sotto vuoto VTC-200PV è progettato per processi di rivestimento superficiale in semiconduttori, cristalli, dischi ottici, litografia e applicazioni correlate. È adatto alla preparazione di rivestimenti con soluzioni fortemente acide o fortemente alcaline.
Questo sistema è in grado di evacuare la camera di rivestimento, consentendo il rivestimento dei campioni sotto vuoto completo. Questa caratteristica è particolarmente adatta per materiali a film sottile soggetti a ossidazione o degradazione in aria. Durante il funzionamento sotto vuoto, i campioni vengono fissati tramite un mandrino portacampioni.
Quando non si utilizza l'evacuazione sotto vuoto, i campioni vengono trattenuti sul supporto del substrato tramite adsorbimento sotto vuoto. Il sistema può memorizzare fino a 12 programmi, ciascuno contenente 6 fasi sequenziali. È possibile impostare diverse velocità di rotazione per ogni fase, consentendo al coatinger di accelerare gradualmente fino alla velocità massima. Ciò garantisce la formazione uniforme di un film sottile sulla superficie del campione, riducendo al minimo lo spreco di materiale.
Grazie a vantaggi quali facilità d'uso, pulizia pratica e design compatto, il VTC-200PV Vacuum Spin Coater è ampiamente utilizzato nei laboratori di università e istituti di ricerca per la preparazione di film sottili.
Caratteristiche principali
1. L'apparecchiatura può memorizzare 12 set di programmi, ognuno dei quali contiene 6 fasi di esecuzione. Intervallo di impostazione della velocità di accelerazione e decelerazione per ogni fase: 100 giri/min-20 ...
2. Il campione viene fissato mediante adsorbimento sotto vuoto e può anche essere fissato mediante incollaggio o serraggio, operazione semplice da eseguire.
3. Il grado di vuoto può raggiungere -0,08 MPa.
4. I campioni possono essere facilmente centrati utilizzando lo strumento di posizionamento per ridurre le vibrazioni o le fuoriuscite causate dal disallineamento.
5. È possibile utilizzare mandrini diversi in base alle specifiche del campione e la sostituzione è comoda e semplice.
6. È stato adottato un motore CC brushless da 24 V che presenta i vantaggi di elevata affidabilità, forte adattabilità, semplice riparazione e manutenzione, bassa rumorosità, piccole vibrazioni, funzionamento stabile, avvio rapido e stabile, funzionamento stabile dopo l'accelerazione, per garantire la consistenza e l'uniformità dello spessore del rivestimento.
7. La pompa per vuoto a barre parallele senza olio viene utilizzata quando il campione viene fissato mediante assorbimento del vuoto e presenta i vantaggi di dimensioni ridotte, struttura semplice, facile utilizzo, comoda manutenzione e nessun inquinamento ambientale.
8. Il rivestimento può essere effettuato in atmosfera di gas inerte (come Ar, N2).
9. Quando il rivestimento viene eseguito sotto vuoto, il substrato del campione viene fissato mediante incollaggio o serraggio.
10. La camera è realizzata in materiale PP con una maggiore durata utile per migliorare le capacità di resistenza alla corrosione chimica e un'eccellente resistenza alle crepe da stress, mentre il corpo della macchina adotta una struttura in alluminio pressofuso, resistente e leggera.
11. Sistema operativo inglese
12. Ha la funzione di protezione contro l'apertura del coperchio. Quando il coperchio superiore viene aperto durante il processo di rivestimento o al termine dello stesso, la macchina decelera immediatamente e rapidamente fino all'arresto.
13. Il controller adotta una scatola di controllo con display numerico LCD, più intuitivo e affidabile.
TParametri tecnici
Nome del prodotto | VTC-200PV Vacuum Spin Coater |
Modello del prodotto | VTC-200PV |
Condizioni di installazione | 1. Temperatura e umidità: 10-85% RH (a 25℃ senza condensa) Temperatura: 0-45℃. 2. Non ci sono forti fonti di terremoti né gas corrosivi attorno all'apparecchiatura. 3. Acqua: L'apparecchiatura è dotata di uno scarico fognario 4. Elettricità: Monofase: AC220V 50Hz 10A. 5. Gas: la portata di scarico della pressione negativa del vuoto (pompa del vuoto) non è inferiore a 70 l/min (l'apparecchiatura può far passare gas inerte protettivo) 6. Banco da lavoro: si consiglia di avere dimensioni pari a 1500 mm × 600mm×700 mm e sopportare un carico di oltre 100 kg (è meglio una piattaforma in cemento solido) 7. Dispositivo di ventilazione: Nessun requisito speciale |
Parametri principali (Specifiche) | 1. Interfaccia di alimentazione: presa di alimentazione con fusibile: AC220V, 50Hz; specifiche del fusibile: 10A, φ5×20mm. 2. Potenza totale: ≤600W (inclusa pompa per vuoto oil-free collegata da 450W). 3. Camera principale (materiale): polipropilene. 4. Supporto del substrato (mandrino + mandrino a vuoto): configurazione standard: 1 supporto del substrato di tipo mandrino (adattabile per campioni da 2", 3", 4") e 1 mandrino a vuoto in polipropilene da Ø100 mm. 5. Modalità operativa: memorizza fino a 12 programmi, ciascuno contenente 6 fasi sequenziali. 6. Velocità di centrifuga: 500–6000 giri/min (effettivi). 7. Velocità di accelerazione/decelerazione per fase: intervallo regolabile: 100–2000 giri/min/s. 8. Tempo per fase: intervallo regolabile: 0–60 s. 9. Stabilità della velocità: ±1%. 10. Sistema di controllo: microcontrollore PCB con funzionamento tramite tastiera e display LCD LMC. 11. Dimensioni e peso del prodotto: · Unità principale: Ø250 mm × 360 mm · Scatola di controllo: 330 mm × 380 mm × 150 mm · Peso: 25 kg 12. Attrezzatura di supporto: · Modello: AP-1400C/V, alimentato tramite presa collegata all'unità principale · Tensione: AC220V, 50/60Hz, 2A, 0,45 kW · Vuoto finale: –0,0933 MPa · Velocità di pompaggio: 150 L/min · Pompa per vuoto meccanica (per l'evacuazione della camera di rivestimento) · Modello: VRD-8, alimentato tramite presa indipendente · Tensione: AC220V, 50Hz, 2,5A, 0,4 kW · Vuoto massimo: 5×10⁻² Pa · Velocità di pompaggio: 8 m³/h |
SAccessori standard
NO. | nome | quantità | immagine |
1 | Mandrino a vuoto (φ100mm) | 1 pz | |
2 | Piastra di serraggio 2", 3", 4" | 1 pz | |
3 | Posizionatore/localizzatore centrale (inclusi 4 perni di posizionamento) | 1 pz | |
4 | Iniettore/siringa epossidica | 1 pz |
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5 | Pompa per vuoto senza olio | 1 pz | |
6 | Pompa per vuoto a palette rotanti Double-Click VRD-8 | 1 pz |
ILAccessori opzionali
NO. | nome | tipo funzionale | immagine |
1 | Mandrino a vuoto di altre specifiche | (opzionale) |
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2 | Pipetta (prodotta in Cina) | (opzionale) |
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3 | Pipetta (importata) | (opzionale) |
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4 | Pompa meccanica VRD-16 | (opzionale) |
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Garanzia
Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)
Logistica
