Spalmatrice a rotazione (8.000 giri/min, wafer da 4" max.) con 3 mandrini a vuoto
La macchina per il rivestimento a centrifuga sottovuoto VTC-100 è dotata di 3 mandrini a vuoto (standard) di diverse dimensioni, che possono essere modificati in base alle dimensioni dei campioni. Durante il funzionamento, la macchina per il rivestimento a centrifuga sottovuoto VTC-100 utilizza il metodo di adsorbimento a piastra sottovuoto per fissare il campione sulla piastra stessa. L'apparecchiatura utilizza un programma a due stadi per controllare la velocità.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione al prodotto
Il Vacuum Spin Coater VTC-100 è adatto a processi quali la fabbricazione di semiconduttori, la fotolitografia e il rivestimento superficiale. Caratterizzato da semplicità d'uso, facilità di pulizia e design compatto, è utilizzato principalmente nei laboratori di università e istituti di ricerca per la preparazione di film sottili.
L'apparecchiatura adotta un metodo di fissaggio a vuoto per il fissaggio dei campioni, che consente un facile carico e scarico dei campioni e riduce al contempo le complesse fasi operative precedentemente eseguite. Viene fornita di serie con tre mandrini a vuoto in polipropilene (φ25 mm, φ50 mm e φ100 mm), rendendola adatta al rivestimento di wafer di silicio e altri materiali di diverse dimensioni.
Il sistema di alimentazione interno separa la sezione motore dalla sezione di controllo, ciascuna con un'alimentazione indipendente. Il sistema di controllo della velocità utilizza un microcontrollore altamente resistente alle interferenze, garantendo una rotazione stabile nell'intervallo 1000-8000 giri/min. La macchina si avvia rapidamente e mantiene una velocità stabile, garantendo uniformità e costanza dello spessore del film. Inoltre, nella struttura di installazione sono state applicate misure di smorzamento delle vibrazioni, rendendo l'apparecchiatura più stabile durante il funzionamento e riducendo la rumorosità.
Caratteristiche principali
1. La velocità è controllata da un programma a due fasi: la colla viene iniettata nella prima fase a bassa velocità e la colla viene livellata nella seconda fase ad alta velocità.
2. Il campione viene fissato tramite adsorbimento sotto vuoto, che è facile da usare e comodo per prelevare e posizionare il campione.
3. Struttura in alluminio pressofuso, funzionamento stabile e basso rumore
4. L'alimentazione del motore e quella del controller sono fornite in modo indipendente.
5. La regolazione della velocità è controllata da un computer a chip singolo con elevata anti-interferenza e la velocità è molto stabile nell'intervallo da 1000 a 8000 giri/min.
6. Display digitale a LED, con funzione di visualizzazione del conto alla rovescia del rivestimento rotante
7. La pompa per vuoto a barre parallele senza olio presenta i vantaggi di dimensioni ridotte, struttura semplice, facile utilizzo, manutenzione conveniente e nessun inquinamento ambientale.
TParametri tecnici
Nome del prodotto | VTC-100 Vacuum Spin Coater | |
Modello del prodotto | VTC-100 | |
Condizioni di installazione | 1. Temperatura e umidità: 10-85% RH (a 25℃ senza condensa) Temperatura: 0-45℃. 2. Non vi siano forti fonti di vibrazioni o gas corrosivi attorno all'apparecchiatura. 3. L'acqua non è necessaria 4. Elettricità: Monofase: AC220V 50Hz. 5. Gas: la portata di scarico della pressione negativa del vuoto (pompa del vuoto) non è inferiore a 70 l/m 6. Banco da lavoro: 800mm×600mm×700 mm di peso di supporto consigliato superiore a 100 kg (è preferibile una piattaforma in cemento solido) 7. Dispositivo di ventilazione: nessun requisito speciale | |
I parametri principali | 1. Interfaccia di alimentazione: presa di corrente con assicurazione: AC220/110V 50/60Hz, la specifica del tubo di assicurazione è 10A, φ5×20mm 2. Potenza totale: ≤150W 3. Vassoio portacampioni (ventosa): Ventosa a vuoto in polipropilene Φ25mm φ50mm φ100mm, una per ciascuno 4. Modalità di funzionamento: rotazione antioraria, con due fasi di funzionamento 5. Velocità di rivestimento: velocità SPD1: 500-8000 giri/min effettivi Velocità SPD2: 500-8000 giri/min effettivi 6. Tempo di rivestimento: tempo T1: 1--600s effettivi Tempo T2: 1--600s effettivo 7. Stabilità della velocità: ±1% 8. Modalità di controllo: microcomputer a chip singolo PCB, controllo tramite pulsante, display a tubo digitale | |
9. Specifiche del prodotto: · Dimensioni: 380mm×260mm×330mm · peso: 12 kg |
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SAccessori standard
NO. | nome | quantità | immagine |
1 | Mandrino a vuoto (PP,Ø25mm,Ø50mm,Ø100mm) | 1 pz ciascuno | |
2 | Iniettore/Siringa | 1 pz | |
3 | Pompa per vuoto senza olio | 1 pz |  |
ILAccessori opzionali
NO. | nome | tipo funzionale | immagine |
1 | Mandrino a vuoto speciale (PTFE, lega di alluminio) | (opzionale) | - |
2 | Mandrino micro-dimensionato | (opzionale) | |
3 | Filtro (per pompa a vuoto) | (opzionale) | - |
4 | Pipetta (prodotta in Cina) | (opzionale) | |
5 | Pipetta (importata) | (opzionale) | |
6 | Piastra di serraggio del campione | (opzionale) |
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Garanzia
Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)
Logistica
