Spalmatrice centrifuga ad alta velocità (10.000 giri/min e 5" max)
Il sistema di rivestimento rotante sotto vuoto VTC-100PA è adatto per la lavorazione di semiconduttori, cristalli, dischi ottici, produzione di lastre e rivestimenti superficiali, ecc. Può essere utilizzato con soluzioni di rivestimento fortemente acide e fortemente alcaline. L'apparecchiatura è dotata di due mandrini a vuoto di diverse dimensioni (standard) in base alle dimensioni del campione. L'apparecchiatura può memorizzare 12 set di programmi, ognuno dei quali contiene 6 fasi di esecuzione.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione al prodotto
Il sistema di rivestimento rotante sotto vuoto VTC-100PA è progettato per processi di rivestimento superficiale di semiconduttori, cristalli, dischi ottici e fotolitografia. È adatto anche per la preparazione di pellicole utilizzando soluzioni di rivestimento fortemente acide o fortemente alcaline.
L'unità è dotata di serie di due mandrini a vuoto di diverse dimensioni, consentendo agli utenti di selezionare il mandrino appropriato in base alle dimensioni del campione. Durante il funzionamento, il VTC-100PA fissa il campione sul mandrino tramite aspirazione a vuoto. Il dispositivo può memorizzare fino a 12 programmi, ognuno dei quali contiene 6 fasi operative. Le diverse fasi corrispondono a diverse velocità di rotazione, consentendo al coatinger di aumentare gradualmente la velocità fino alla massima. Ciò garantisce una formazione uniforme del film sulla superficie del campione, riducendo al contempo gli sprechi di materiale e migliorando l'efficienza.
Grazie a caratteristiche quali facilità d'uso, pulizia pratica e ingombro ridotto, il VTC-100PA Vacuum Spin Coater è ampiamente utilizzato nei laboratori di università, istituti di ricerca e centri di ricerca e sviluppo per la fabbricazione di film sottili.
Caratteristiche principali
1. Il campione viene fissato mediante adsorbimento sotto vuoto, un metodo di facile utilizzo.
2. Il grado di vuoto può raggiungere -0,08 MPa.
3. I campioni possono essere facilmente centrati utilizzando lo strumento di posizionamento per ridurre le vibrazioni o le fuoriuscite causate dal disallineamento.
4. È possibile utilizzare mandrini diversi in base alle specifiche del campione e la sostituzione è comoda e semplice.
5. Viene adottato un motore CC brushless da 24 V che presenta i vantaggi di elevata affidabilità, forte adattabilità, semplice riparazione e manutenzione, basso rumore, piccole vibrazioni, funzionamento stabile, avvio rapido e stabile, funzionamento stabile dopo l'accelerazione, per garantire la consistenza e l'uniformità dello spessore del rivestimento
6. La pompa per vuoto a barre parallele senza olio presenta i vantaggi di dimensioni ridotte, struttura semplice, facile utilizzo, manutenzione conveniente e nessun inquinamento ambientale.
7. La camera è realizzata in materiale PP con una maggiore durata utile per migliorare le capacità di resistenza alla corrosione chimica e un'eccellente resistenza alle crepe da stress, mentre il corpo della macchina adotta una struttura in alluminio pressofuso, resistente e leggera.
8. Il rivestimento può essere effettuato in atmosfera di gas inerte (come Ar, N2).
9. Sistema operativo inglese
10. Ha la funzione di protezione contro l'apertura del coperchio. Quando il coperchio superiore viene aperto durante il processo di rivestimento o al termine dello stesso, la macchina decelera immediatamente e rapidamente fino all'arresto.
11. L'interfaccia di controllo adotta un touch screen più un sistema di controllo a computer a scheda singola, e il display numerico è più intuitivo e affidabile.
TParametri tecnici
Nome del prodotto | VTC-100PA Vacuum Spin Coater | |
Modello del prodotto | VTC-100PA | |
Condizioni di installazione | Questa apparecchiatura deve essere utilizzata a un'altitudine di 1000 m o inferiore, a una temperatura di 25℃±15℃ e a un'umidità del 55%Rh±10%Rh. 1. Acqua: dotato di ingresso e uscita acqua 2. Elettricità: AC220V 50Hz, deve avere una buona messa a terra 3. gas: N/D 4. Banco da lavoro: dimensioni 600 mm × 600 mm × 700 mm, con portata superiore a 50 kg (è preferibile un tavolo in cemento solido). 5. Dispositivo di ventilazione: Nessun requisito speciale | |
Parametri principali (Specifiche) | 1. Interfaccia di alimentazione: AC220V, 50Hz, 10A 2. Potenza totale: ≤150W (esclusa la pompa a vuoto esterna) 3. Camera di rivestimento (materiale): polipropilene 4. Supporto del campione (mandrino a vuoto): mandrini in polipropilene, Φ19 mm e Φ60 mm, uno ciascuno 5. Modalità di funzionamento: fino a 12 programmi memorizzabili; ogni programma include 6 fasi operative 6. Velocità di centrifuga: 500 giri/min – 10.000 giri/min effettivi 7. Velocità di accelerazione/decelerazione: intervallo regolabile per fase: 100 giri/min – 2000 giri/min 8. Tempo di rivestimento: intervallo di tempo per fase: 0–60 s 9. Stabilità della velocità: ±1% 10. Modalità di controllo: microcontrollore PCB, controllo tramite tastiera, display LCD LMC 11. Metodo di riscaldamento: Non disponibile | |
Dimensioni e peso del prodotto | 12. Specifiche del prodotto: · Dimensioni: 450 mm × 280 mm × 340 mm · Peso: 18 kg |
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SAccessori standard
NO. | nome | quantità | immagine |
1 | Mandrino a vuoto (incluso O-ring) (Ø19mm EØ60mm) | 2 pezzi |
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2 | Posizionatore/localizzatore centrale (inclusi 4 perni di posizionamento) | 1 pz | |
3 | Iniettore/siringa epossidica (20 ml) | 1 pz |
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4 | Supporto per iniettore/siringa | 1 pz | |
5 | Pompa per vuoto senza olio | 1 pz |
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6 | Tubo di gomma (compreso il morsetto) | 1 pz |
ILAccessori opzionali
NO. | nome | tipo funzionale | immagine |
1 | Mandrini a vuoto di altre specifiche | (opzionale) |  |
2 | Pipetta (prodotta in Cina) | (opzionale) |  |
3 | Pipetta (importata) | (opzionale) |  |
Garanzia
Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)
Logistica
