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Macchina di rivestimento a sputtering al plasma a bersaglio singolo

1. Il giunto dell'elettrodo ad alta tensione sigillato in ceramica del rivestimento tramite sputtering al plasma da tavolo è più durevole della guarnizione in gomma comunemente utilizzata.
2. In base alle caratteristiche di ionizzazione del gas nel campo elettrico, il rivestimento mediante sputtering al plasma da tavolo utilizza una camera a vuoto di sputtering di grande capacità e un bersaglio di sputtering di area corrispondente per rendere il rivestimento mediante sputtering più uniforme e puro.
3. Il rivestimento tramite sputtering al plasma da tavolo ha ottenuto la certificazione CE.

  • Shenyang Kejing
  • Shenyang, Liaoning
  • 10 giorni lavorativi
  • 50 set
  • informazione

Introduzione del sistema compatto di rivestimento al plasma a bersaglio singolo:

Il plasma sputtering coater da tavolo GSL-1100X-SPC-16 è uno strumento compatto per sputtering al plasma in grado di eseguire rivestimenti sputtering su vari metalli come oro, platino, indio, argento, ecc. Il diametro del campione può raggiungere i 50 mm e lo spessore del rivestimento può raggiungere i 300 Å. È particolarmente adatto per il rivestimento sulla superficie di campioni SEM. Il plasma sputtering coater compatto a singolo target è dotato di un vacuometro per la camera di sputtering del campione e di un misuratore di corrente di sputtering per indicare e monitorare lo stato dello strumento. La guarnizione in gomma appositamente progettata per il bordo della campana di vetro impedisce il collasso della campana durante l'uso prolungato, il che comprometterebbe il grado di vuoto della camera di sputtering del campione; la testa ad alta pressione sigillata in ceramica è più resistente della guarnizione in gomma solitamente utilizzata. Il plasma sputtering coater compatto a singolo target è di piccole dimensioni e semplice da utilizzare, ed è adatto per il rivestimento di piccoli campioni in laboratorio.


Desktop Plasma Sputtering Coater

Vantaggi del rivestimento al plasma da tavolo:

1. Il rivestimento al plasma da tavolo è dotato di misuratore del vuoto e misuratore di corrente di sputtering per monitorare lo stato di funzionamento in tempo reale.

2. Il rivestimento a sputtering al plasma a bersaglio singolo compatto può regolare il controller della corrente di sputtering e la micro valvola dell'aria del vuoto per controllare la pressione della camera a vuoto, la corrente di ionizzazione e selezionare il gas di ionizzazione richiesto per ottenere un effetto di rivestimento eccellente.

3. L'anello di tenuta in gomma sul bordo della campana di vetro del rivestimento al plasma a sputtering compatto a bersaglio singolo adotta un design speciale per garantire che la campana di vetro non crolli durante l'uso a lungo termine.


Parametri tecnici del rivestimento mediante sputtering al plasma:

Nome del prodotto

GSL-1100X-SPC-16 Plasma Sputtering Coater

Modello del prodotto

GSL-1100X-SPC-16

Condizioni di installazione

Questa apparecchiatura deve essere utilizzata a un'altitudine inferiore a 1000 m, a una temperatura di 25℃±15℃ e a un'umidità del 55%Rh±10%Rh.

1. Acqua: non necessaria.

2. Elettricità: AC220V 50Hz, deve essere ben messa a terra.

3. Gas: la camera dell'apparecchiatura deve essere riempita con argon (purezza superiore al 99,99%) ed è necessario preparare una bombola di gas argon (con una valvola di riduzione della pressione).

4. Banco da lavoro: dimensioni 600 mm × 600 mm × 700 mm, capacità di carico superiore a 50 kg.

5. Dispositivo di ventilazione: non richiesto.

Parametri principali

1. Alimentazione: 220V.

2. Potenza totale: <2000W (inclusa la pompa a vuoto).

3. Camera a vuoto: Ø160mm×120mm.

4. Piano di lavoro del campione: Ø50mm, con altezza regolabile, può rivestire 8 campioni SEM contemporaneamente.

5. Rivestimento uniforme massimo: Ø45mm.

6. Specifiche del prodotto:

Dimensioni: 400 mm × 300 mm × 400 mm.

Peso: 30 kg.
Plasma Sputtering Coater


Accessori standard del rivestimento al plasma da tavolo:

NO.NomeQuantitàImmagine
1Bersaglio per sputtering d'oro1 pezzo--
2Valvola a spillo di ingresso1 pezzo--
3Fusibile2 pezzi--


Accessori opzionali del rivestimento al plasma da tavolo:

NO.NomeFunzioneImmagine
1Vari target di sputtering come oro, indio, argento, platino, ecc.(Opzionale)--


I nostri servizi:

I nostri prodotti sono riconosciuti da numerosi clienti per le loro eccellenti prestazioni, la qualità costante e la durata. Disponiamo di un team tecnico professionale in grado di fornire ai clienti una gamma completa di servizi di supporto nella selezione dei prodotti, installazione e messa in servizio, formazione operativa, ecc. Qualunque sia il problema che riscontrate durante l'utilizzo, faremo del nostro meglio per fornirvi soluzioni tempestive ed efficaci. Non vediamo l'ora di assistervi!
Compact single target Plasma Sputter Coater


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