Strumento di sputtering al plasma a tre bersagli
brand Shenyang Kejing
Prodotti di origine Shenyang, Cina
Il Tempo di consegna 10 giorni lavorativi
La capacità di approvvigionamento 50 set
1. Il rivestimento mediante sputtering al plasma a tre target è dotato di un misuratore del vuoto e di un misuratore di corrente di sputtering, in grado di monitorare il funzionamento dell'apparecchiatura in qualsiasi momento per ottenere un effetto di rivestimento stabile e affidabile.
2. Il rivestimento mediante sputtering al plasma a tre target può regolare la pressione della camera a vuoto, la corrente di ionizzazione e selezionare il gas di ionizzazione appropriato tramite il regolatore della corrente di sputtering e la microvalvola dell'aria del vuoto per ottimizzare l'effetto del rivestimento.
3. La guarnizione in gomma appositamente progettata sul bordo della campana di vetro non causerà la rottura della campana di vetro dopo un uso prolungato, migliorando così la durata del rivestimento a sputtering al plasma Three Target.
Introduzione di tre target di rivestimento sputtering:
Il rivestimento sputtering a tre target GSL-1100X-SPC-16-3 è un'apparecchiatura di rivestimento semplice, affidabile ed economica progettata in base al principio dello sputtering a corrente continua a diodi (CC) (il rivestimento sputtering a diodi CC si riferisce al processo di utilizzo dell'effetto sputtering prodotto dal bombardamento di particelle del materiale target in un ambiente sotto vuoto per far sì che gli atomi o le molecole del materiale target vengano espulsi dalla superficie solida e depositati sul substrato per formare una pellicola sottile. È un tipo di tecnologia di preparazione di pellicole sottili mediante deposizione fisica da vapore (PVD). La caratteristica speciale del rivestimento sputtering a tre target è che tre target sono installati in una camera a vuoto e la fase di campionamento rotante può rivestire tre materiali sullo stesso campione a turno. Pertanto, è adatto per la preparazione di vari campioni di film compositi in laboratorio e la produzione di elettrodi sperimentali per materiali non conduttori. Il rivestimento sputtering a tre target è di piccole dimensioni, consente di risparmiare spazio in laboratorio, è facile da usare ed è particolarmente adatto per l'uso in laboratorio.
Vantaggi del rivestimento a sputtering al plasma con tre teste target:
1. Il rivestimento mediante sputtering al plasma a tre teste target utilizza giunti elettrodici ad alta tensione sigillati in ceramica, che sono più durevoli e riducono i costi di manutenzione rispetto alle tradizionali guarnizioni in gomma.
2. Il rivestimento mediante sputtering al plasma a tre teste bersaglio utilizza una camera a vuoto per sputtering di grande capacità e un bersaglio per sputtering di area corrispondente, in grado di migliorare l'uniformità e la purezza del rivestimento.
3. Il rivestimento al plasma a sputtering con tre teste target ha superato la certificazione CE e soddisfa gli standard di sicurezza.
Parametri tecnici del rivestimento a sputtering al plasma a tre target:
| Nome del prodotto | GSL-1100X-SPC-16-3 Plasma Sputtering Coater a tre teste di destinazione |
| Modello del prodotto | Modello GSL-1100X-SPC-16-3 |
| Condizioni di installazione | Questa apparecchiatura deve essere utilizzata a un'altitudine inferiore a 1000 m, a una temperatura di 25 ℃±15 ℃ e a un'umidità del 55%Rh±10%Rh. 1. Acqua: non richiesta. 2. Elettricità: AC220V 50Hz, deve essere ben messa a terra. 3. Gas: la camera dell'apparecchiatura deve essere riempita con argon (purezza superiore al 99,99%) ed è necessario preparare una bombola di gas argon (con una valvola di riduzione della pressione). 4. Banco da lavoro: dimensioni 600 mm × 600 mm × 700 mm, capacità di carico superiore a 50 kg. 5. Dispositivo di ventilazione: non richiesto. |
| Parametri principali | 1. Diametro bersaglio: Ø45mm. 2. Camera a vuoto: Ø160mm×120mm. 3. Grado di vuoto: ≤4×10-2mbar. 4. Posizione di destinazione: 3. 5. Corrente massima: 50mA. 6. Tempo limite impostabile: 900 s. 7. Microvalvola aria sottovuoto: collegata al tubo flessibile Ø3mm. 8. Tensione limite: 1600 V CC. 9. Pompa meccanica: 2L/s. |
Accessori standard del rivestimento al plasma a sputtering a tre target:
| NO. | Nome | Quantità | Immagine |
| 1 | Bersaglio per sputtering dell'oro | 1 pezzo | -- |
| 2 | Bersaglio per sputtering di rame | 1 pezzo | -- |
| 3 | Bersaglio per sputtering in alluminio | 1 pezzo | -- |
| 4 | Accessori per evaporazione termica | 1 pezzo | -- |
| 5 | Fusibile | 2 pezzi | -- |
Accessori opzionali del rivestimento sputtering a tre target:
| NO. | Nome | Funzione | Immagine |
| 1 | Vari obiettivi di sputtering come oro, indio, argento, platino, ecc. | (Opzionale) | -- |
Chi siamo:
La soddisfazione del cliente è il nostro obiettivo incessante. Aderiamo sempre al concetto di servizio incentrato sul cliente e forniamo un supporto tecnico completo e un servizio post-vendita. Che si tratti di suggerimenti per la selezione del prodotto, formazione operativa, diagnosi di guasti e servizi di manutenzione, il nostro team di assistenza è in grado di rispondere alle esigenze del cliente al primo tentativo.
