Strumento di sputtering al plasma a tre bersagli
1. Il dispositivo di rivestimento mediante sputtering al plasma a tre obiettivi è dotato di un misuratore di vuoto e di un misuratore di corrente di sputtering, in grado di monitorare il funzionamento dell'apparecchiatura in qualsiasi momento per ottenere un effetto di rivestimento stabile e affidabile.
2. Il rivestimento mediante sputtering al plasma a tre target può regolare la pressione della camera a vuoto, la corrente di ionizzazione e selezionare il gas di ionizzazione appropriato tramite il controller della corrente di sputtering e la microvalvola dell'aria del vuoto per ottimizzare l'effetto del rivestimento.
3. La guarnizione in gomma appositamente progettata sul bordo della campana di vetro non causerà la rottura della stessa dopo un uso prolungato, migliorando così la durata del Three Target Plasma Sputtering Coater.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Liaoning
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione di tre target di rivestimento a sputtering:
Il sistema di rivestimento sputtering a tre target GSL-1100X-SPC-16-3 è un'apparecchiatura di rivestimento semplice, affidabile ed economica, progettata sul principio dello sputtering a corrente continua a diodo (CC). Il rivestimento sputtering a diodo CC si riferisce al processo che utilizza l'effetto sputtering prodotto dal bombardamento di particelle del materiale target in un ambiente sotto vuoto per far sì che atomi o molecole del materiale target vengano espulsi dalla superficie solida e depositati sul substrato per formare un film sottile. Si tratta di un tipo di tecnologia di preparazione di film sottili mediante deposizione fisica da vapore (PVD). La particolarità del sistema di rivestimento sputtering a tre target è che i tre target sono installati in una camera a vuoto e il piatto portacampioni rotante può rivestire a turno tre materiali sullo stesso campione. Pertanto, è adatto per la preparazione di vari campioni di film compositi in laboratorio e per la produzione di elettrodi sperimentali per materiali non conduttori. Il sistema di rivestimento sputtering a tre target è di piccole dimensioni, occupa poco spazio in laboratorio, è facile da usare ed è particolarmente adatto per l'uso in laboratorio.
Vantaggi del rivestimento a sputtering al plasma con tre teste target:
1. Il rivestimento mediante sputtering al plasma con tre teste target utilizza giunti di elettrodi ad alta tensione sigillati in ceramica, che sono più durevoli e riducono i costi di manutenzione rispetto alle tradizionali guarnizioni in gomma.
2. Il rivestimento mediante sputtering al plasma a tre teste target utilizza una camera a vuoto per sputtering di grande capacità e un target di sputtering di area corrispondente, che può migliorare l'uniformità e la purezza del rivestimento.
3. Il rivestimento tramite sputtering al plasma a tre teste target ha superato la certificazione CE e soddisfa gli standard di sicurezza.
Parametri tecnici del rivestimento a sputtering al plasma a tre target:
| Nome del prodotto | GSL-1100X-SPC-16-3 Plasma Sputtering Coater a tre teste di destinazione |
| Modello del prodotto | GSL-1100X-SPC-16-3 |
| Condizioni di installazione | Questa apparecchiatura deve essere utilizzata a un'altitudine inferiore a 1000 m, a una temperatura di 25℃±15℃ e a un'umidità del 55%Rh±10%Rh. 1. Acqua: non necessaria. 2. Elettricità: AC220V 50Hz, deve essere ben messa a terra. 3. Gas: la camera dell'apparecchiatura deve essere riempita con argon (purezza superiore al 99,99%) ed è necessario preparare una bombola di gas argon (con una valvola di riduzione della pressione). 4. Banco da lavoro: dimensioni 600 mm × 600 mm × 700 mm, capacità di carico superiore a 50 kg. 5. Dispositivo di ventilazione: non richiesto. |
| Parametri principali | 1. Diametro del bersaglio: Ø45mm. 2. Camera a vuoto: Ø160mm×120mm. 3. Grado di vuoto: ≤4×10-2mbar. 4. Posizione target: 3. 5. Corrente massima: 50 mA. 6. Tempo limite impostabile: 900 s. 7. Microvalvola dell'aria per il vuoto: collegata al tubo flessibile da Ø3mm. 8. Tensione limite: 1600 V CC. 9. Pompa meccanica: 2L/s. |
Accessori standard per il rivestimento a sputtering al plasma a tre target:
| NO. | Nome | Quantità | Immagine |
| 1 | Bersaglio per sputtering d'oro | 1 pezzo | -- |
| 2 | Bersaglio per sputtering di rame | 1 pezzo | -- |
| 3 | Bersaglio per sputtering in alluminio | 1 pezzo | -- |
| 4 | Accessori per evaporazione termica | 1 pezzo | -- |
| 5 | Fusibile | 2 pezzi | -- |
Accessori opzionali del rivestimento sputtering a tre target:
| NO. | Nome | Funzione | Immagine |
| 1 | Vari target di sputtering come oro, indio, argento, platino, ecc. | (Opzionale) | -- |
Chi siamo:
La soddisfazione del cliente è il nostro obiettivo costante. Aderiamo costantemente al concetto di servizio incentrato sul cliente e forniamo supporto tecnico e assistenza post-vendita completi. Che si tratti di suggerimenti per la selezione dei prodotti, formazione operativa, diagnosi dei guasti e servizi di manutenzione, il nostro team di assistenza è in grado di rispondere alle esigenze del cliente fin dal primo momento.
