Rivestimento a evaporazione termica sotto vuoto con quattro fonti di riscaldamento
Il rivestimento evaporativo GSL-1800X-ZF4 è un rivestimento evaporativo ad alto vuoto, particolarmente adatto per l'evaporazione e il rivestimento di film metallici sensibili all'ossigeno (come Ti, Al, Au, ecc.) e di composti organici a piccole molecole. La macchina è dotata di 4 vasche di riscaldamento per evaporazione, ciascuna delle quali può eseguire l'evaporazione in modo indipendente.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 22 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione al prodotto
Il sistema di rivestimento evaporativo GSL-1800X-ZF4 è un sistema di rivestimento evaporativo ad alto vuoto appositamente progettato per la deposizione di film metallici sensibili all'ossigeno (come Ti, Al, Au) e materiali organici a piccole molecole. Il sistema è dotato di quattro vasche di evaporazione riscaldanti indipendenti, ciascuna in grado di funzionare separatamente. Uno schermo rotante sopra le vasche protegge le altre tre durante l'evaporazione, prevenendo efficacemente la contaminazione incrociata tra i materiali. Con regolazioni di configurazione opzionali, può anche depositare materiali organici, soddisfacendo le esigenze di ricerca di dispositivi a emissione luminosa e celle solari organiche. Questo lo rende un sistema di rivestimento da laboratorio ad alte prestazioni ed economico.
Il fondo della camera è dotato di cinque elettrodi raffreddati ad acqua per mantenere la temperatura degli elettrodi durante il funzionamento, prevenendone il surriscaldamento, la fusione o il danneggiamento. L'unità utilizza una camera a vuoto metallica in grado di raggiungere un vuoto massimo di 5,0×10-7 torr. La piastra portacampioni viene riscaldata dalla temperatura ambiente fino a 500 °C, il che la rende la scelta ideale per esperimenti di rivestimento tramite evaporazione ad alto vuoto.
Caratteristiche principali
1. Tutte le unità di controllo del vuoto sono assemblate in un'unica scatola di controllo.
2. Adotta un regolatore di corrente del rivestimento di evaporazione indipendente, comodo e veloce da utilizzare.
3. La camera a vuoto è dotata di una valvola di pompaggio laterale KF40 (collegata direttamente alla pompa meccanica dello stadio anteriore per migliorare l'efficienza), una valvola a saracinesca CF150 (collegata direttamente alla pompa molecolare), una flangia KF16 (per installare il misuratore di resistenza), sei flange CF35 (una per installare il misuratore di ionizzazione, una per installare l'elettrodo a 2 nuclei e una per installare il misuratore di spessore del film) e 3 pezzi di ricambio.
4. Sul fondo della camera sono presenti 5 elettrodi raffreddati ad acqua, che possono supportare 4 navicelle di riscaldamento per evaporazione.
5. Il piano di campionamento è installato sulla parte superiore della camera.
6. Nella camera può essere installato uno spessimetro ad alta risoluzione, la cui risoluzione di misurazione dello spessore del film (alluminio) è di 0,1Å.
7. È possibile utilizzare un refrigeratore d'acqua a circolazione.
Parametri tecnici
Nome del prodotto | GSL-1800X-ZF4 Evaporation Coater | |
Modello del prodotto | GSL-1800X-ZF4 | |
Condizioni di installazione | Questa apparecchiatura deve essere utilizzata a un'altitudine di 1000 m o inferiore, a una temperatura di 25℃±15℃ e a un'umidità del 55%Rh±10%Rh. 1. Acqua: l'apparecchiatura è dotata di un refrigeratore d'acqua autocircolante (riempito con acqua pura o acqua deionizzata) 2. Elettricità: AC220V 50Hz, deve avere una buona messa a terra 3. Banco da lavoro: tipo da pavimento, che copre un'area di oltre 2 m2 5. Dispositivo di ventilazione: necessario | |
Parametri principali (Specifiche) | 1. Ingresso: monofase AC220V, 50Hz/60Hz, potenza <2,16kW (esclusa la pompa per vuoto) 2. Uscita di evaporazione: tensione AC 0-8V regolabile in continuo, corrente di evaporazione limite 200A, potenza di evaporazione limite <1,6kW 3. Camera a vuoto: Ø300mm (ID)×360mm (H), acciaio inossidabile, parete interna elettrolucidata 4. Finestra di osservazione: Ø100mm, sigillata con anello di tenuta speciale 5. Pompa a vuoto: pompa turbomolecolare ad alta velocità di pompaggio con velocità di pompaggio di 600 l/s 6. Grado di vuoto: 8,0×10-4BENE 7. Limite del vuoto: 8,0×10-5BENE 8. Tasso di perdita: 6,7×10-8Pa·L/s 9. Stadio campione: φ120 10. Distanza tra la navicella di evaporazione e il piano del campione: 140-200 mm 11. Acqua di raffreddamento richiesta: 15L/min 12. Temperatura di riscaldamento della fase campione: temperatura ambiente ~ 500 ℃, controllo automatico della temperatura e misurazione della temperatura | |
Dimensioni e peso del prodotto | 13. Specifiche del prodotto: · Dimensioni: 900mm×1100mm×1800mm · Peso: 230 kg |
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Garanzia
Garanzia limitata di un anno con supporto a vita (escluse le parti arrugginite dovute a condizioni di conservazione inadeguate)
Logistica
