Monitor per lo spessore del film EQ-TM106
1. Questo strumento di ispezione del rivestimento da laboratorio è un monitor QCM ad alta precisione per lo spessore del film, utilizzato in MBE, OLED e sputtering. Garantisce che lo spessore del rivestimento soddisfi i requisiti sperimentali.
2. L'apparecchiatura offre inoltre il controllo della velocità in tempo reale, una risoluzione di 0,0136 Å e l'esportazione dei dati su PC.
3. L'apparecchiatura è accompagnata da un servizio di assistenza pre e post-vendita dedicato. In caso di malfunzionamenti o danni ai componenti, vi preghiamo di contattarci immediatamente; offriamo una garanzia di un anno (che copre i problemi non causati da un uso improprio).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Cina
- 10 giorni lavorativi
- 50 set
- informazione
Introduzione del monitor per lo spessore della pellicola di preparazione:
Il monitor di spessore del film EQ-TM106 utilizza il principio di oscillazione del cristallo di quarzo, combinato con una tecnologia avanzata di misurazione della frequenza, per eseguire il monitoraggio in tempo reale e in situ dello spessore del film. Viene impiegato principalmente durante i processi di deposizione di film sottili, come quelli che coinvolgono MBE, evaporazione termica OLED e apparecchiature di sputtering a magnetron, per fornire un monitoraggio continuo sia dello spessore dello strato di film che della velocità di deposizione.
Basandosi sulla velocità di deposizione in tempo reale del film sottile, il monitor EQ-TM106 genera un segnale di uscita analogico PWM (Pulse Width Modulation). Funzionando come un sensore di spessore dedicato, si integra con controller esterni e alimentatori per evaporazione per consentire il controllo a circuito chiuso della velocità della sorgente di evaporazione, facilitando così la misurazione precisa dello spessore del film depositato.
Il monitor di spessore del film EQ-TM106 presenta un design compatto che consente di risparmiare spazio in laboratorio; inoltre, il suo semplice principio di funzionamento e l'interfaccia intuitiva lo rendono particolarmente adatto all'uso in applicazioni di deposizione di film sottili su scala di laboratorio.
Specifiche tecniche del prodotto:
| Nome del prodotto | Monitor per lo spessore del film EQ-TM106 | ||
| Modello di prodotto | EQ-TM106 | ||
| Specifiche tecniche | Modulo di monitoraggio EQ-TM106-1 1. Alimentazione: CC 5 V (±10%), corrente massima 400 mA 2. Risoluzione in frequenza: ±0,03 Hz 3. Risoluzione dello spessore del film: 0,0136 Å (alluminio) 4. Precisione dello spessore del film: ±0,5% (dipendente dalle condizioni di processo, in particolare dalla posizione del sensore, dalla sollecitazione del materiale, dalla temperatura e dalla densità) 5. Velocità di misurazione: da 100 ms a 1 s per misurazione (configurabile) 6. Intervallo di misurazione: 500.000 Å (alluminio) 7. Cristallo sensore standard: 6 MHz 8. Interfaccia computer: interfaccia seriale RS-232/485 (velocità di trasmissione configurabili: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; bit di dati: 8; bit di stop: 1; parità: nessuna) 9. Uscita analogica: risoluzione a 8 bit, uscita PWM (modulazione di larghezza di impulso) (Open Collector o uscita interna a 5V) 10. Condizioni operative: Temperatura 0–50 °C; Umidità 5%–85% UR (senza condensa) 11. Dimensioni: 90 mm × 50 mm × 18 mm | ||
Unità di visualizzazione EQ-TM106-2 1. Alimentazione in ingresso: CA 220 V ±10% 2. Potenza di uscita: CC 5V 3A 3. Display: 12×2 tubi digitali e LED 4. Porta di comunicazione: RS-485 (Velocità di trasmissione selezionabili: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; Bit di dati: 8; Bit di stop: 1; Parità: Nessuna) 5. Dimensioni: 182 mm × 65 mm × 160 mm | |||
Sonda EQ-TM106-3 1. Frequenza del cristallo compatibile: 6 MHz 2. Dimensioni del cristallo compatibile: Ø14mm 3. Flangia di montaggio: CF35 4. Tubi per acqua di raffreddamento: Ø3 mm; Lunghezze: 300 mm, 500 mm, 1000 mm 5. Pressione dell'acqua di raffreddamento: <0,3 MPa 6. Tubo per otturatore pneumatico: Ø3 mm 7. Pressione dell'aria compressa: <0,8 MPa, >0,5 MPa 8. Temperatura di cottura: <200 °C (con flusso d'acqua); Flangia <100 °C (senza flusso d'acqua) 9. Interfaccia elettrica: presa BNC | |||
| Accessori standard | 1 | Modulo di monitoraggio EQ-TM106-1 | 1 unità |
| 2 | Unità di visualizzazione EQ-TM106-2 | 1 unità | |
| 3 | Sonda EQ-TM106-3 | 1 unità | |
Caratteristiche principali del monitor per la deposizione di film sottili:
1. Questa unità può essere collegata a un computer.
2. L'unità di visualizzazione presenta un'interfaccia pulita, intuitiva e ben organizzata, che offre un funzionamento comodo e rapido. Fornisce una visualizzazione in tempo reale dei parametri operativi, tra cui lo spessore del film misurato, la velocità di deposizione, la frequenza e la percentuale dell'uscita di controllo PWM.
3. Tramite il software o l'unità di visualizzazione, gli utenti possono configurare varie impostazioni, come il tempo di gate, la modalità di output, l'algoritmo di velocità, i parametri del materiale, l'intervallo di output e i parametri di comunicazione, ed esportare i dati misurati pertinenti direttamente in un file Excel.
4. Il dispositivo vanta dimensioni compatte, elevata precisione di misurazione, funzionamento semplice e praticità d'uso.
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