Quali sono i fattori che influiscono sullo sputtering magnetron ad alto vuoto?

Sulla base dello sputtering magnetron di base, vengono introdotti un ambiente di crescita ad alto vuoto e ad alta temperatura e la tecnologia al plasma viene combinata per migliorare l'efficienza di reazione della deposizione reattiva, in modo da realizzare l'epitassia del film di sputtering magnetron. Il film preparato in questa condizione di alto vuoto ha un migliore orientamento del reticolo e proprietà cristalline più eccezionali. Ha un'ampia gamma di applicazioni nei materiali quantistici superconduttori, ferroelettrici, piezoelettrici, termoelettrici e altri campi. Lo stato di alto vuoto aiuta a ridurre l'influenza delle impurità e garantisce che le particelle sputterate non reagiscano negativamente con altri gas durante il processo di deposizione.

Il materiale di destinazione è la fonte dei materiali per sputtering magnetron ad alto vuoto.Il materiale del materiale target determina la composizione e le proprietà del film depositato. Diversi tipi di materiali target, come metallo, lega o materiali target composti, influenzano le proprietà del film depositato. La composizione, la purezza, la granulometria, l'orientamento, ecc. del materiale target per sputtering magnetron ad alto vuoto influenzano direttamente la composizione, la struttura e le proprietà del film. Le proprietà magnetiche del materiale target per sputtering magnetron ad alto vuoto, come la magnetizzazione di saturazione e la forza coercitiva, influenzano il comportamento del plasma e le proprietà magnetiche della pellicola durante lo sputtering. La pulizia e la ruvidità della superficie target per sputtering magnetron ad alto vuoto influenzano la velocità di sputtering e la qualità della pellicola.

Una volta determinati il ​​materiale di rivestimento e il substrato, la selezione dei parametri di processo avrà un grande impatto sulla qualità del rivestimento e sulla velocità di crescita del rivestimento. La potenza di sputtering influirà sulla velocità di sputtering, sulla composizione e sulla struttura della pellicola. Quando la potenza di sputtering è troppo elevata, la sorgente del materiale target del rivestimento potrebbe surriscaldarsi, lo stress interno della pellicola potrebbe aumentare e la pellicola potrebbe rompersi; quando la potenza è troppo bassa, la velocità di sputtering sarà lenta, la struttura della pellicola sarà allentata, le particelle saranno grandi e la qualità della pellicola sarà scarsa.

La nostra azienda aderisce sempre alla filosofia aziendale di "cliente prima di tutto, qualità prima", fornisce ai clienti prodotti e servizi di alta qualità e si è guadagnata una buona reputazione sul mercato. sputtering magnetron ad alto vuoto strumento prodotto dalla nostra azienda è un'attrezzatura di rivestimento di nuova concezione e indipendente, che può essere utilizzata per preparare pellicole ferroelettriche monostrato o multistrato, pellicole conduttive, pellicole in lega, pellicole semiconduttrici, pellicole ceramiche, pellicole dielettriche, pellicole ottiche, pellicole di ossido, pellicole dure, pellicole di politetrafluoroetilene, ecc. Non solo è ampiamente utilizzato, ma ha anche i vantaggi di piccole dimensioni e facile utilizzo. È un'attrezzatura ideale per preparare pellicole di materiali in laboratorio.