Macchina tutto in uno per rivestimento sotto vuoto a glove box per perovskite di celle solari

a. Sistema trifase a cinque fili. Cinque fili: 380 VAC (+/-5%), 50 Hz, tre fili sotto tensione, un filo di terra e un filo neutro. Potenza massima 8 kW, corrente massima 32 A.

b. Inoltre, è richiesto un filo di messa a terra indipendente.

2. Acqua:

Portata 15-20 litri/minuto, 15-25 gradi Celsius, differenza di pressione in ingresso e in uscita dell'acqua 1-2 kg, pressione in ingresso dell'acqua 2~3 kg, diametro esterno dell'ingresso e dell'uscita dell'acqua dell'apparecchiatura è 12 mm (si consiglia di utilizzare un tubo dell'acqua in gomma migliore); si consiglia di installare una valvola a sfera davanti all'ingresso dell'acqua dell'apparecchiatura, in modo che la pressione e il flusso dell'acqua possano essere facilmente regolati.

3. Gas:

a. Aria compressa: aria compressa secca, pulita, priva di acqua e olio, tubo dell'aria in plastica da 8 mm, pressione 5,5-6

kg (0,55-0,6 MPa).

b. Azoto ordinario: azoto secco, utilizzato per rompere il vuoto nella camera dell'apparecchiatura. Tubo dell'aria in plastica da 8 mm, pressione 1-2 kg (0,1-0,2 MPA).

1. Camera in acciaio inossidabile 304 specifica per il vuoto, elettrolucidatura interna, diametro della camera a vuoto di circa 400 mm di larghezza, 400 mm di profondità e 450 mm di altezza, con struttura della porta anteriore e posteriore verticale.

2. La guida della porta anteriore adotta un design a doppia guida importato, con un aspetto più coordinato e bloccaggio manuale. La porta posteriore adotta una struttura a cerniera manuale, che è facile da stringere e sigillare; il sistema fornisce un rivestimento in acciaio inossidabile con una struttura multi-pezzo per un facile smontaggio e installazione. Le superfici interna ed esterna della camera a vuoto sono lucidate. La camera è dotata di interfacce per apparecchiature come illuminazione e misuratori di spessore del film;

3. Il lato sinistro della camera a vuoto è collegato alla valvola principale e alla pompa molecolare, nonché all'interfaccia di misurazione del vuoto. La parte superiore è dotata di uno stadio di campionamento rotante raffreddato ad acqua, di un deflettore dello stadio di campionamento e di un'interfaccia della sonda del misuratore di spessore del film; la piastra inferiore è dotata di 2 set di elettrodi di evaporazione del metallo, 4 set di sorgenti organiche e 2 porte di installazione della sonda del misuratore di spessore del film;

4. Porte anteriori e posteriori con finestre di osservazione in vetro: 1 finestra di osservazione da 4 pollici di diametro con deflettore sulla porta anteriore della camera a vuoto; dotata di vetro anti-incrostazione; 2 piccole finestre di osservazione sulla porta posteriore osservano rispettivamente la sorgente e il campione, dotate di vetro anti-incrostazione.

II. Sorgente di evaporazione: dotata sia di sorgente di evaporazione metallica che di sorgente di evaporazione non metallica

III. Sistema di allarme completo: rilevamento e protezione da mancanza d'acqua e sottotensione, rilevamento e protezione della sequenza di fase, rilevamento e protezione della temperatura, rilevamento e protezione del sistema del vuoto. Allarme per condizioni anomale quali mancanza d'acqua, sovracorrente, sovratensione e rottura del circuito di pompe ed elettrodi e implementazione delle corrispondenti misure di protezione; sistema di protezione di interblocco del programma logico completo.

IV. Metodo di controllo:

Controllo automatico manuale Panasonic PLC+touch screen; è possibile immettere velocità e spessore finale, la regolazione PID controlla automaticamente la potenza di evaporazione in uscita. Contenuto del controllo: pompa meccanica, pompa molecolare, pneumatica, valvola elettromagnetica, vacuometro, ecc.; aspirazione automatica, rivestimento automatico, scarico automatico, ecc.;

Protezione completa di interblocco (hardware, interblocco software), in modalità manuale e automatica, l'apparecchiatura è sotto protezione completa di interblocco per garantire la sicurezza del personale e dell'apparecchiatura. Inoltre, il sistema è dotato di un dispositivo di allarme di rilevamento del flusso d'acqua.

V. Caratteristiche strutturali: Il sistema è dotato di ruote e piedini universali per facilitarne lo spostamento. (Come mostrato in figura)

NOI. Dettagli:

Un setaccio molecolare è installato davanti alla pompa meccanica e parti protettive come filtri e otturatori sono installati all'uscita dell'aria. Il percorso del gas è progettato per evitare la polvere. La fonte organica è installata indipendentemente all'interno.

Tutti gli stadi del campione, i deflettori della sorgente e le rotazioni degli stadi del campione sono sigillati con fluido magnetico per garantire la stabilità a lungo termine del sistema.

Relè, morsettiere, giunti per tubi dell'acqua e del gas, elettrovalvole e altri piccoli componenti sono tutti prodotti originali di alta qualità.

1. Sistema del vuoto:

Utilizzando calibro FF-200/1300 della pompa molecolare lubrificata a grasso Zhongke Keyi, velocità di pompaggio: 1300 L/S + sistema di vuoto della pompa meccanica Feiyue VRD-16, valvola a battente pneumatica da 8 pollici, misurazione del vuoto: un misuratore di vuoto basso e uno di vuoto alto (intervallo dall'atmosfera a 3E-9torr), commutazione automatica del controllo della misurazione del vuoto basso e del vuoto alto. Le letture del vuoto vengono inserite nel PLC per il controllo del processo.

Valvola per vuoto: Modello: 2 set di valvole a battente DN40mm; 1 set di valvola principale pneumatica Zhongke Keyi DN200.

Tenuta sotto vuoto: la tenuta statica staccabile è sigillata con un anello in gomma fluorurata; la tenuta statica smontabile raramente è sigillata con rame privo di ossigeno.

2. Limite del vuoto:

Migliore di 2,0×10-5Pa. Tasso di perdita: migliore di 5×10－8Pa*L/S (standard nazionale). Dopo lo spegnimento per 12 ore, il grado di vuoto è ≤5Pa.

3. Velocità di pompaggio: Tempo di pompaggio: pressione atmosferica ~ 5×10-4Pa inferiore a 20 min

1. Struttura a cassetto, in grado di trasportare un campione massimo di 150*150 mm, dotata di deflettore pneumatico del substrato.

2. La distanza tra il substrato e la sorgente di evaporazione è regolabile elettricamente e la distanza massima della regolazione elettrica del sollevamento è di 60 mm.

3. Il piatto portacampione è girevole con funzione di raffreddamento ad acqua: la velocità di rotazione del piatto portacampione è regolabile in continuo da 0 a 30 giri/min.

1. La macchina per rivestimento evaporativo a fascio di elettroni ad alto vuoto è dotata di 2 set di sorgenti di evaporazione di tipo barca. La sorgente metallica adotta un elettrodo di rame raffreddato ad acqua + struttura a barca di evaporazione (temperatura massima 1500 gradi). La macchina per rivestimento evaporativo a fascio di elettroni ad alto vuoto è dotata di un alimentatore di evaporazione da 2,4 kW. L'alimentatore della sorgente di evaporazione ha due modalità di azionamento: corrente costante e tensione costante, che possono essere commutate. L'alimentatore di evaporazione può essere controllato tramite software o manualmente. L'alimentatore di evaporazione può anche regolare automaticamente la velocità di evaporazione tramite il misuratore di spessore del film pid (controllo a circuito chiuso). Con display digitale.

2. La macchina di rivestimento per evaporazione a fascio di elettroni ad alto vuoto è dotata di 4 set di forni a sorgente a fascio di evaporazione organica, 4 alimentatori per evaporazione organica, sorgenti di evaporazione organica con funzione di visualizzazione della temperatura e i forni a sorgente a fascio organico utilizzano regolatori di temperatura conduttivi giapponesi. Dotata di 4 set di crogioli, temperatura di riscaldamento: 0-700 gradi Celsius; intervallo di angolo regolabile: 0-15 gradi,

1. Alimentazione: DC 5V (±10%), corrente massima 400mA.

2. Risoluzione di frequenza: ±0,03Hz.

3. Risoluzione dello spessore della pellicola: 0,0136Å (alluminio).

4. Precisione dello spessore del film: ±0,5%, a seconda delle condizioni di processo, in particolare posizione del sensore, sollecitazione del materiale, temperatura e densità.

5. Velocità di misurazione: 100 ms-1 s/tempo, regolabile.

6. Campo di misura: 500000Å (alluminio).