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Sistema di rivestimento a evaporazione continua multicamera

1. La nostra macchina per rivestimento sotto vuoto tramite evaporazione consente l'iniezione continua del campione, rendendola particolarmente adatta per esperimenti o progetti professionali.
2. La nostra macchina per il rivestimento sotto vuoto tramite evaporazione è completamente automatizzata, consentendo di risparmiare sui costi del personale e della formazione.
3. La macchina per rivestimento sotto vuoto tramite evaporazione è dotata di quattro zone di lavoro, accelerando l'avanzamento del progetto e consentendo il riscaldamento separato.

  • Shenyang Kejing
  • Shenyang, Cina
  • 10 giorni lavorativi
  • 50 set
  • informazione

Introduzione della macchina per rivestimento sotto vuoto per evaporazione: 

La macchina per rivestimento a evaporazione continua GSL-1800X-ZF-AM è un dispositivo di rivestimento a evaporazione professionale ad alto vuoto e iniezione continua di campioni. La macchina per rivestimento a evaporazione continua adotta una struttura multicamera con una camera di trasferimento e una camera di rivestimento a evaporazione, consentendo il trasferimento continuo del campione e operazioni di rivestimento automatizzate in un ambiente di vuoto stabile. Il supporto del substrato si muove alternativamente tra le due camere, ottenendo un funzionamento sincrono completamente automatizzato azionato da un motore a modulazione di frequenza. La posizione e la velocità di movimento alternativo della macchina per rivestimento a evaporazione continua sono impostabili e sono disponibili funzioni di posizionamento a doppia camera e di reset dell'origine, migliorando significativamente l'efficienza sperimentale e la ripetibilità del rivestimento.


La macchina di rivestimento a evaporazione continua è particolarmente adatta per il rivestimento a evaporazione di materiali metallici sensibili all'ossigeno (come Ti, Al, Au, ecc.) e materiali organici a piccole molecole. Il sistema di rivestimento sottovuoto a evaporazione termica è dotato di quattro vasche di riscaldamento a evaporazione controllate in modo indipendente, ciascuna in grado di eseguire un processo di evaporazione indipendente. Una struttura a deflettore girevole sopra ogni vasca di riscaldamento protegge efficacemente le altre vasche durante il funzionamento a vasca singola, prevenendo la contaminazione incrociata del materiale evaporato e garantendo la purezza del film.


Modificando alcune configurazioni, il sistema di rivestimento sotto vuoto per evaporazione termica può supportare anche il rivestimento per evaporazione di vari materiali organici, rendendolo ideale per la ricerca su materiali avanzati come i dispositivi OLED a emissione luminosa e il fotovoltaico organico (OPV). Cinque elettrodi raffreddati ad acqua sono posizionati sul fondo della camera, proteggendoli costantemente durante l'evaporazione ad alta temperatura, prevenendo danni da fusione termica e migliorando la durata e la stabilità del sistema.


Il sistema di rivestimento sotto vuoto per evaporazione termica GSL-1800X-ZF-AM utilizza una camera a vuoto metallica altamente affidabile, che consente di raggiungere un vuoto massimo di sistema di 5,0 × 10⁻⁷ Torr. La piattaforma di campionamento può riscaldare i campioni (temperatura ambiente - 500 °C), fornendo un ambiente termico stabile e controllabile per la deposizione di film sottili di alta qualità. Grazie alle sue prestazioni in vuoto elevato, alla flessibilità di processo e all'eccellente rapporto costo-efficacia, il sistema di rivestimento sotto vuoto per evaporazione termica è la scelta ideale per istituti di ricerca e laboratori che conducono ricerche sui rivestimenti per evaporazione ad alto vuoto.

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Vantaggi della macchina per rivestimento sotto vuoto tramite evaporazione:

· Progettazione multicamera della macchina di rivestimento per evaporazione continua: composta da una camera di trasferimento e da una camera di rivestimento per evaporazione, che consente un rivestimento per evaporazione del campione rapido e continuo.

· Gestione centralizzata del controllo del vuoto: l'unità del vuoto è integrata in una scatola di controllo integrata per un facile utilizzo.

· Controllo indipendente della corrente di evaporazione: facilita la regolazione precisa della velocità di evaporazione.

· La camera è dotata di una valvola di bypass KF40 (collegata direttamente alla pompa di pre-iniezione per una migliore efficienza di pompaggio), una valvola a saracinesca CF150 (collegata direttamente alla pompa molecolare), una flangia KF16 (per il montaggio di un misuratore di resistenza) e sei flange CF35 (una per un misuratore di ionizzazione, una per un elettrodo a 2 pin, una per un misuratore di spessore del film e tre interfacce di riserva).

· Sistema di raffreddamento ad acqua ad alta efficienza: sul fondo della camera sono posizionati cinque elettrodi raffreddati ad acqua, che supportano contemporaneamente quattro navicelle di riscaldamento per deposizione di vapore.

· La fase di campionamento della macchina per rivestimento sotto vuoto tramite evaporazione è caratterizzata da un design montato in alto per una facile installazione e utilizzo.

· Misuratore di spessore del film ad alta risoluzione opzionale: precisione di misurazione dello spessore del film di alluminio fino a 0,1 Å.

· La macchina per rivestimento sotto vuoto tramite evaporazione può essere dotata di un refrigeratore ad acqua circolante per garantire stabilità operativa a lungo termine.


Parametri tecnici della macchina per rivestimento sotto vuoto per evaporazione:

Nome del prodottoMacchina per rivestimento a evaporazione continua GSL-1800X-ZF-AM
Modello del prodottoGSL-1800X-ZF-AM

Requisiti di installazione del sistema di rivestimento sotto vuoto

1Questo sistema di rivestimento sotto vuoto per evaporazione termica è adatto all'uso in ambienti con una temperatura di 25℃±15℃ e un'umidità relativa del 55%RH±10%.

2. Fonte d'acqua: il sistema di rivestimento sotto vuoto per evaporazione termica è dotato di un sistema di raffreddamento dell'acqua a circolazione automatica, che richiede l'aggiunta di acqua purificata o deionizzata.

3. Alimentazione del sistema di rivestimento sotto vuoto: monofase AC220V 50Hz, con messa a terra affidabile richiesta.

4. Banco di lavoro del sistema di rivestimento sotto vuoto: a pavimento, superficie consigliata di almeno 2 metri quadrati, che garantisca un posizionamento stabile dell'attrezzatura.

5. Ventilazione: richiede una buona ventilazione o sistemi di scarico per garantire la sicurezza operativa e un'efficace dissipazione del calore.

Parametri del sistema di rivestimento sotto vuoto

1. Ingresso alimentazione: monofase AC220V, 50/60Hz, ppotenza <2,16 kW (esclusa la pompa a vuoto).

2. Uscita di evaporazione: tensione CA 0–8 V regolabile in continuo, corrente di evaporazione massima 200 A, potenza di evaporazione massima <1,6 kW.

3. Camera a vuoto: diametro interno Ø300mm × altezza 360mm, acciaio inossidabile, parete interna elettrolucidata.

4. Finestra di osservazione: Ø100mm, con speciale anello di tenuta per garantire la tenuta stagna.

5. Pompa per vuoto: pompa turbomolecolare ad alta velocità, velocità di pompaggio 600 L/s.

6. Vuoto di lavoro: 8,0×10⁻⁴Pa.

7. Vuoto finale: 8,0×10⁻⁵Pa.

8. Tasso di perdita: 6,7×10⁻⁸Pa·L/s.

9. Stadio campione: Diametro φ120mm.

10. Distanza tra la navicella di evaporazione e il piano portacampione: regolabile 140–200 mm.

11. Fabbisogno di acqua di raffreddamento: 15 l/min.

12. Temperatura di riscaldamento della fase di campionamento: temperatura ambiente~500℃, supporta il controllo automatico della temperatura e la misurazione della temperatura.

ConformitàLa certificazione CE, UL o CSA è disponibile a un costo aggiuntivo.


Chi siamo:

In qualità di azienda focalizzata sul mercato della ricerca scientifica, i nostri clienti provengono principalmente da college e università, istituti di ricerca scientifica e laboratori. Ci impegniamo costantemente a servire la società attraverso tecnologie innovative, concentrandoci sul cliente e fornendo servizi di ricerca scientifica professionali ed efficienti. Il nostro obiettivo è diventare un'azienda leader nel campo degli strumenti per la ricerca scientifica, affidabile, rispettata e con un'influenza e competitività a livello internazionale.


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