Perché gli ugelli al quarzo TQ6D-SP sono leader del settore.

Nei sistemi di deposizione chimica da fase vapore (CVD), deposizione a strati atomici (ALD) e erogazione di gas ad alta purezza, gli ugelli sono componenti fondamentali per il controllo della dinamica dei gas e della velocità delle reazioni chimiche. Questi ambienti sono tipicamente caratterizzati da temperature elevate, gas altamente corrosivi e rigorosi requisiti di purezza, condizioni in cui gli ugelli metallici spesso non sono adeguati.

Grazie alle loro eccellenti proprietà fisico-chimiche, gli ugelli in quarzo TQ6D-SP sono diventati la scelta preferita per i laboratori di semiconduttori e le linee di produzione di fascia alta.

A. Contaminazione metallica

Nella lavorazione dei semiconduttori, anche tracce minime di impurità metalliche (come Fe, Ni o Cr) possono causare il malfunzionamento dei dispositivi. Persino dopo la passivazione, gli ugelli in acciaio inossidabile possono rilasciare ioni metallici se esposti a flussi di gas acidi.

B. Instabilità dimensionale dovuta all'espansione termica

I metalli hanno elevati coefficienti di dilatazione termica; all'interno di un tubo di forno a 1000 °C, il diametro dell'orifizio dell'ugello può subire minime variazioni. Ciò provoca una deriva del campo di flusso del gas, con conseguente deposizione non uniforme del film sottile.

C. Sostituzioni frequenti e tempi di inattività (breve durata)

Sebbene gli ugelli in ceramica offrano un'elevata resistenza alle alte temperature, mancano di tenacità e sono soggetti a fratture fragili in caso di shock termico. I frequenti arresti del sistema per la sostituzione degli ugelli incidono negativamente sull'efficienza produttiva.

Vantaggi tecnici degli ugelli al quarzo TQ6D-SP

A. Silice fusa ad elevata purezza

Gli ugelli TQ6D-SP sono realizzati in quarzo. Il suo bassissimo contenuto di gruppi idrossilici (OH) garantisce un basso tasso di degassamento in ambienti sottovuoto, impedendo l'introduzione di impurità volatili.

B. Eccellenza termica (coefficiente di dilatazione termica estremamente basso)

Il quarzo ha un coefficiente di dilatazione termica di circa 5,5 × 10⁻⁷/°C, solo una frazione di quello dell'acciaio inossidabile. Ciò significa che la geometria di iniezione della TQ6D-SP rimane costante sia a temperatura ambiente che ad alte temperature fino a 1100 °C.

Questo ugello è progettato specificamente per ambienti di ricerca di laboratorio e offre i seguenti vantaggi principali:

Resistenza alle alte temperature:Realizzato in quarzo ad elevata purezza, resiste a temperature di esercizio fino a 1100 °C. Ciò consente l'inserimento diretto in tubi di forni ad alta temperatura o camere di reazione per la spruzzatura, condizioni in cui i normali ugelli in metallo o plastica si scioglierebbero o si romperebbero.

Purezza chimica:Il quarzo offre un'eccezionale stabilità chimica, prevenendo efficacemente la contaminazione da ioni metallici durante il processo di spruzzatura. Questo è fondamentale per la ricerca che coinvolge materiali altamente sensibili alle impurità, come i semiconduttori e i materiali per gli elettrodi delle batterie.

Atomizzazione fine:Grazie a un ugello con un diametro di soli 0,3 mm, raggiunge un'atomizzazione a livello micrometrico. Se abbinato a una pompa a siringa di precisione, consente un controllo preciso delle dimensioni delle gocce e della velocità di spruzzatura, garantendo rivestimenti o particelle uniformi.

Elevata resistenza alla corrosione:Ad eccezione dell'acido fluoridrico e dell'acido fosforico caldo, il quarzo è chimicamente inerte nei confronti della maggior parte degli acidi, delle basi e delle soluzioni saline, il che lo rende adatto alla nebulizzazione di un'ampia gamma di reagenti chimici corrosivi.

Struttura semplice e facile integrazione:Dotato di un raccordo standard da 1/4" e di un tubo in PTFE, si integra facilmente con diversi sistemi di manipolazione di gas e liquidi da laboratorio (come serbatoi di miscelazione gas-liquido e pompe peristaltiche).

Consigli per la manutenzione e la durata nel tempo

Evitare l'acido fluoridrico: l'acido fluoridrico (HF) è il principale nemico del quarzo; evitare rigorosamente il contatto con l'HF durante la pulizia.

Prevenire i graffi superficiali: sebbene duro, il quarzo è fragile; piccoli graffi superficiali possono diventare punti di concentrazione di stress termico. Si consiglia di utilizzare pinzette specializzate con punte morbide per maneggiarlo.

Prevenire la devetrificazione: durante il funzionamento prolungato ad alta temperatura, pulire regolarmente l'ugello per evitare la formazione di depositi salini sulla superficie, che possono causare la devetrificazione del quarzo.

Perché scegliere il TQ6D-SP di Shenyang Kejing?

Offriamo non solo prodotti standard, ma anche la possibilità di personalizzare gli angoli degli orifizi in base alle specifiche dimensioni dei tubi del vostro forno. Questa meticolosa attenzione ai dettagli garantisce un'elevata riproducibilità dei vostri dati sperimentali.